中古真空コンポーネントの機器名リスト
DC電源46件
イオンゲージ27件
ピラニーゲージ27件
バラトロン7件
コールドカソード2件
サーモカップル（TCゲージ）11件
マスフローコントローラー（MFC）309件
真空バルブ13件
RF電源36件
マスフローメーター3件
Convectron Gauge6件
アングルバルブ28件
ゲートバルブ12件
オリフィスコントローラー1件
コンダクタンスバルブ3件
スパークル（アークキラー）5件
バルブコントローラー3件
ピエゾバルブ1件
ペニングゲージ1件
マッチングボックス4件
圧力コントローラー9件
イオン電源4件
蒸着膜厚コントローラー1件
CVCC可変電源3件
マスフローコントローラー電源3件
マスフローコントローラー表示器1件
バタフライバルブ2件
チューニングコントローラー16件
RFコントローラー2件
キャパシタンスマノメータ4件
EB蒸着電源1件
マイクロ波電源1件
電気計測器その他8件
ゲージコントローラー1件
真空計19件
振子式バルブ1件
回転導入機6件
フローコントローラー3件
角型ゲートバルブ8件
アクティブゲージ5件
直線導入機6件
ニードルバルブ1件
フォアライントラップ1件
L型バルブ2件
電流導入端子5件
ビューポート38件
真空部品その他13件
マニピュレーター2件
分圧計1件
クリスタルゲージ2件
圧力調整バルブ(APC)3件
真空コンポーネントの在庫表
| 機器名称 | メーカー | 型番 | 管理番号 | シリアル | 年式 | 備考 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | M-430HG | Z24022817 | |||
| バルブコントローラー | MKS | 600series | Z24022816 | |||
| ゲートバルブ | Vat | 10844-CE44-0005/0322 | Z24022815 | |||
| ゲートバルブ | Vat | 12145-PA14-0001/0003 | Z24012605 | プラズマクリーナーで使用されていた | ||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | GP-1000 | Z24012604 | 2004年 | プラズマクリーナーで使用されていた | |
| マスフローコントローラー（MFC） | ヤマタケ Yamatake | CMQ9500CSSN0001D0 | Z24012602 | プラズマクリーナーで使用されていた | ||
| RF電源 | アルバック Ulvac | RFS-1305A3 | Z24012601 | プラズマクリーナーで使用されていた | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | コフロック Kofloc | MODEL3660 | Z24012253 | |||
| バキュームゲージ | ファイファー Pfeiffer | HPT100 | Z23112363 | |||
| バキュームゲージ | ファイファー Pfeiffer | PPT100 | Z23112362 | |||
| バキュームゲージ | ファイファー Pfeiffer | PPT100 | Z23112361 | |||
| バキュームゲージ | ファイファー Pfeiffer | PPT100 | Z23112360 | |||
| バキュームゲージ | ファイファー Pfeiffer | PPT100 | Z23112359 | |||
| DC電源 | 松定プレシジョン | PQ30-27 | Z23112357 | |||
| DC電源 | 松定プレシジョン | PQ10-80 | Z23112356 | |||
| DC電源 | 松定プレシジョン | PK30-27 | Z23112344 | |||
| DC電源 | 松定プレシジョン | PK30-27 | Z23112343 | |||
| DC電源 | 松定プレシジョン | PK45-18 | Z23112342 | |||
| DC電源 | 松定プレシジョン | PK45-18 | Z23112341 | |||
| DC電源 | 松定プレシジョン | PK45-18 | Z23112340 | |||
| DC電源 | 松定プレシジョン | PK45-18 | Z23112339 | |||
| DC電源 | 松定プレシジョン | PK45-18 | Z23112338 | |||
| DC電源 | 松定プレシジョン | PK45-18 | Z23112337 | |||
| DC電源 | 松定プレシジョン | PK45-18 | Z23112336 | |||
| DC電源 | 松定プレシジョン | PK45-18 | Z23112335 | |||
| ピラニーゲージ | インフィコン | PSG400 | Z23112333 | |||
| イオンゲージ | インフィコン | BPG400 | Z23112332 | |||
| 真空計 | インフィコン | VGC103 | Z23112330 | |||
| 真空計 | インフィコン | VGC403 | Z23112329 | |||
| コールドカソード | バリアン | FRG-700 | Z23112326 | |||
| マルチセンサ | アルバック | CRTS-12 | Z23112319 | |||
| マルチセンサ | アルバック | CRTS-12 | Z23112318 | |||
| マルチセンサ | アルバック | CRTS-12 | Z23112317 | |||
| マルチセンサ | アルバック | CRTS-12 | Z23112316 | |||
| 電離真空計 | 島津製作所 Shimadzu | IG-11 | Z23101109 | |||
| DC電源 | 京三製作所 Kyosan | 15Z-SZ2 | Z23100502 | 2008年 | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-E40 | Z23092113 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-E40 | Z23092112 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-E40 | Z23092111 | |||
| RF電源 | アドテック ADTEC | TX10-D000-00 | Z23092107 | |||
| RF電源 | アドテック ADTEC | TX06-9001-00-1 | Z23092106 | |||
| 電離真空計測定子 | Granville-Phillips | 274016 | Z23071012 | |||
| 真空計 | アルバック Ulvac | IG45DC | Z23071009 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400MC-MK3 | Z23071005 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FC-R7710CD | Z23071004 | |||
| 真空計 | アルバック Ulvac | GP-2ARY | Z23061312 | |||
| ペニングゲージ | アルバック Ulvac | GI-PA | Z23061311 | |||
| バタフライバルブ | その他 | Z23061308 | ||||
| バタフライバルブ | フジテクノロジー | 1041021 | Z23061307 | |||
| RF電源 | Eni | OEM-10B | Z230426 | |||
| RF電源 | アドバンスドエナジー AE | RFX600A | Z230331156 | |||
| 真空計 | エドワーズ Edwards | TIC INST CONT 40W | Z230331153 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-410 | Z230331129 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-410 | Z230331128 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-410 | Z230331126 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-400MK3 | Z230331125 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-410 | Z230331124 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400RC | Z230331123 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-310N1 | Z230331120 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | PV-1502MC | Z230331119 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | PV-1502NC | Z230331116 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Tylan | FC-781C | Z230331115 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FC-770AC | Z230331114 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FC-790C | Z230331113 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FC-780C | Z230331112 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FC-780C | Z230331111 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FC-770AC | Z230331110 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FC-790C | Z230331109 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FC-780C | Z230331108 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FC-780C | Z230331107 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FC-790C | Z230331106 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FC-770AC | Z230331105 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FC-770AC | Z230331104 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FC-780C | Z230331103 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FC-770AC | Z230331102 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FC-770AC | Z230331101 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FC-770AC | Z230331100 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FC-790 | Z230331099 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FC-770AC | Z230331098 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | SOURCE VJ | Z230331097 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Tylan | FC-770AC | Z230331096 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Tylan | FC-260 | Z230331095 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Tylan | FC-780 | Z230331094 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Tylan | FC-780C | Z230331093 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Tylan | FC-260 | Z230331092 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Tylan | FC-780 | Z230331091 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Tylan | FC-770AC | Z230331090 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Tylan | FC-770AC | Z230331089 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Tylan | FM-861 | Z230331088 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Tylan | FC-780C | Z230331087 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Tylan | FC-770AC | Z230331085 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Tylan | FC-770AC | Z230331084 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Unit | UFC-1100 | Z230331083 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Unit | UFC-1100 | Z230331082 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Unit | UFC-1100 | Z230331081 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Unit | UFC-1200 | Z230331080 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Unit | UFC-1200 | Z230331079 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Unit | UFC-1100 | Z230331078 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Unit | UFC-1100 | Z230331077 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Unit | UFC-1200 | Z230331076 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Unit | UFC-1200 | Z230331075 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Unit | UFC-1100 | Z230331074 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Unit | UFC-1100 | Z230331073 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Unit | UFC-1100 | Z230331072 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Unit | UFC-1100 | Z230331071 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Unit | UFC-1100 | Z230331070 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Unit | UFC-1100 | Z230331069 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | PV-1501MC | Z230331066 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | PV-1502MC | Z230331065 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-410 | Z230331064 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-410 | Z230331063 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-410 | Z230331062 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-410 | Z230331061 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-410 | Z230331060 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-410-146 | Z230331059 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-410-146 | Z230331058 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-410-146 | Z230331057 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-410 | Z230331056 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-410 | Z230331055 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-410 | Z230331054 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-F440M | Z230331053 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-310 | Z230331052 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-310 | Z230331051 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-310 | Z230331050 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400RC | Z230331049 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400-RC | Z230331048 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4401M | Z230331047 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400M | Z230331046 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400M | Z230331045 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400MC | Z230331044 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400RC | Z230331043 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400RC | Z230331042 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400ｰMO | Z230331041 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400MC-UC | Z230331040 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-400MK3-K | Z230331039 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400M | Z230331038 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-410LP | Z230331037 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400RO | Z230331035 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-410-UC | Z230331034 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400M | Z230331033 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-410Z | Z230331032 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-400MK3-K | Z230331031 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400RC | Z230331030 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-421 | Z230331028 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400R | Z230331027 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400MO | Z230331026 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-400MK2 | Z230331025 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-410 | Z230331023 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-310-NI | Z230331022 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-410 | Z230331021 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-400MK3 | Z230331020 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400R | Z230331019 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-400MK3 | Z230331018 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-410NC | Z230331016 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-410 | Z230331015 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-410 | Z230331014 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-410 | Z230331013 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-421 | Z230331012 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-421 | Z230331011 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-421 | Z230331010 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-400MK3 | Z230331009 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-510 | Z230331007 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-510A | Z230331006 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-500MK3 | Z230331005 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-400MK3 | Z230331004 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-421Z | Z230331002 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400-MO | Z230331001 | |||
| サーモカップル（TCゲージ） | アネルバ ANELVA | MTG-012 | Z22102912 | |||
| ビューポート | その他 | Z22102909 | ||||
| チューニングコントローラー | その他 | ATCP600 | Z220822043 | |||
| チューニングコントローラー | アステック ASTECH | DC-10P | Z220822042 | |||
| 直線導入機 | その他 | Z220822039 | ||||
| 直線導入機 | その他 | Z220822038 | ||||
| ゲートバルブ | Vat | 14040-CE44-0006/0204 | Z220822037 | |||
| 回転導入機 | その他 | Z220822036 | ||||
| ビューポート | その他 | Z220822030 | ||||
| ビューポート | その他 | Z220822029 | ||||
| ビューポート | その他 | Z220822028 | ||||
| ビューポート | その他 | Z220822027 | ||||
| ビューポート | その他 | Z220822026 | ||||
| ビューポート | その他 | Z220822025 | ||||
| ビューポート | その他 | Z220822024 | ||||
| ビューポート | その他 | Z220822023 | ||||
| ビューポート | その他 | Z220822022 | ||||
| マスフローコントローラー（MFC） | MKS | M100B00452CS1BV | Z220822021 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | MKS | M100B02852CS1BV | Z220822020 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | MKS | M100B00752CS1BV | Z220822019 | |||
| 真空計 | アルバック Ulvac | GP-1SRY-A | Z220727023 | |||
| サーモカップル（TCゲージ） | アネルバ ANELVA | WSC-65 | Z220727020 | |||
| EB蒸着電源 | アネルバ ANELVA | EGP-230 | Z220727016 | |||
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | MIG-430 | Z220727012 | |||
| 蒸着膜厚コントローラー | インフィコン Inficon | XTC-3 | Z220727011 | |||
| イオンゲージ 切替器 | アネルバ ANELVA | Z22070844 | ||||
| キャパシタンスマノメータ | MKS | 270C-4 | Z22070803 | |||
| キャパシタンスマノメータ | MKS | 270Dｰ12527 | Z22070802 | |||
| 圧力調整バルブ(APC) | Vat | 61532-KEAC-0002/0001 | Z22070764 | A-1841134 | ||
| 圧力調整バルブ(APC) | Vat | 61534-KEAE-AKR1/0002 | Z22070763 | A-920207 | ||
| 圧力調整バルブ(APC) | Vat | 61532-KECL-AWQ1/0001 | Z22070762 | A-1395559 | ||
| ビューポート | その他 | Z22070743 | ||||
| ビューポート | その他 | Z22070742 | ||||
| ビューポート | その他 | Z22070741 | ||||
| ビューポート | その他 | Z22070740 | ||||
| ビューポート | その他 | Z22070739 | ||||
| ビューポート | その他 | Z22070738 | ||||
| ビューポート | その他 | Z22070737 | ||||
| ビューポート | その他 | Z22070736 | ||||
| ビューポート | その他 | Z22070735 | ||||
| ビューポート | その他 | Z22070734 | ||||
| ビューポート | その他 | Z22070733 | ||||
| ビューポート | その他 | Z22070732 | ||||
| アングルバルブ | アルバック Ulvac | VULH 150CM | Z22070731 | |||
| ゲートバルブ | Vat | Z22070728 | ||||
| 直線導入機 | その他 | Z22070723 | ||||
| 直線導入機 | その他 | Z22070722 | ||||
| 直線導入機 | アネルバ ANELVA | Z22070717 | ||||
| ヌードゲージ | その他 | Z22070714 | ||||
| アングルバルブ | アルバック Ulvac | VLH-US 40KF | Z22070710 | |||
| 回転導入機 | その他 | Z22070706 | ||||
| 回転導入機 | その他 | Z22070705 | ||||
| 回転導入機 | アネルバ ANELVA | Z22070704 | ||||
| サーモカップル（TCゲージ） | アネルバ ANELVA | MTG-015 | Z22061113 | |||
| サーモカップル（TCゲージ） | アネルバ ANELVA | MTG-015 | Z22061112 | |||
| サーモカップル（TCゲージ） | アネルバ ANELVA | TG-550B | Z22061109 | |||
| サーモカップル（TCゲージ） | アネルバ ANELVA | TG-550B | Z22061108 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-7330M | Z22053003 | |||
| 回転導入機 | アネルバ ANELVA | Z22051903 | ||||
| 回転導入機 | アルバック Ulvac | Z22051902 | ||||
| マスフローメーター | 堀場エステック Stec | SEF-Z511X | Z22033017 | |||
| マスフローメーター | 堀場エステック Stec | SEF-Z511X | Z22033016 | |||
| マスフローメーター | 堀場エステック Stec | SEF-Z511X | Z22033015 | |||
| 真空計 | MKS | 852B13TCA3GA | Z220317021 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-410NC | Z220317019 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-400MK3 | Z220317016 | |||
| マスフローコントローラー電源 | 堀場エステック Stec | PAC-41 | Z220317015 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FC-260J | Z2203170117 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FC-260J | Z2203170116 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FC-260J | Z2203170115 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FC-780 | Z2203170114 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FC-780 | Z2203170113 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FC-780 | Z2203170112 | |||
| マスフローコントローラー表示器 | Aera | Z2203170111 | ||||
| ビューポート（回転盤付） | その他 | Z2203170110 | ||||
| 電離真空計 | アネルバ | MIG-721 | Z21080372 | |||
| 真空計(分圧真空計) | アネルバ | QIG-066 | Z21080371 | |||
| 真空計(分圧真空計) | アネルバ | QIG-066 | Z21080370 | |||
| 真空計(分圧真空計) | アネルバ | QIG-066 | Z21080369 | |||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEF-21A | Z21080366 | |||
| マスフローコントローラー | 日立金属 | SFC-480 | Z21080365 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FM-860 | Z21080364 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FM-860 | Z21080363 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FM-860 | Z21080362 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-860 | Z21080361 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-860 | Z21080360 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-860 | Z21080359 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-860 | Z21080358 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-770AC | Z21080357 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-781C | Z21080356 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-781C | Z21080355 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-781C | Z21080354 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-781C | Z21080353 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-781C | Z21080352 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-781C | Z21080351 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-781C | Z21080350 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-780C | Z21080349 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-780C | Z21080348 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-780C | Z21080347 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-780C | Z21080346 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-780C | Z21080345 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-780 | Z21080344 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-771C | Z21080343 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-771C | Z21080342 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-771C | Z21080341 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-770C | Z21080340 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-770AC | Z21080339 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-770AC | Z21080338 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-770AC | Z21080337 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-770AC | Z21080336 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-761 | Z21080335 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-761 | Z21080334 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-760 | Z21080333 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-760 | Z21080332 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-760 | Z21080331 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-260 | Z21080330 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-260 | Z21080329 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-260 | Z21080328 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-260 | Z21080327 | |||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-260 | Z21080326 | |||
| マスフローコントローラー | リンテック | MC-100M | Z21080325 | |||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-8160 | Z21080324 | |||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-8160 | Z21080323 | |||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-8160 | Z21080322 | |||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-8100 | Z21080321 | |||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-8100 | Z21080319 | |||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-1200A | Z21080318 | |||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-1200A | Z21080317 | |||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-1200A | Z21080316 | |||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-1200A | Z21080315 | |||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-1200A | Z21080314 | |||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-1200A | Z21080313 | |||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-1200A | Z21080312 | |||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-1200A | Z21080311 | |||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-1200A | Z21080310 | |||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-1200 | Z21080309 | |||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-1200 | Z21080308 | |||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-1200 | Z21080307 | |||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-1100 | Z21080306 | |||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-1100 | Z21080305 | |||
| マスフローコントローラー | アズビル（旧ヤマタケ） | Z21080304 | ||||
| マスフローコントローラー（MFC） | Brooks | 5877 | Z21080298 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Brooks | 5877 | Z21080297 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Brooks | 5877 | Z21080296 | |||
| マスフローコントローラー | エドワーズ | 825 | Z21080291 | |||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEF-1R | Z21080290 | |||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-E4400-MO | Z21080289 | |||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-E440 | Z21080288 | |||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-7440MC | Z21080287 | |||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-510-X | Z21080286 | |||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-500MK3 | Z21080283 | |||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-500MK3 | Z21080282 | |||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-4400RO | Z21080281 | |||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-4400MO-UC | Z21080280 | |||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-4400MO-UC | Z21080279 | |||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-4400MO-UC | Z21080275 | |||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-400MK2 | Z21080274 | |||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-4400MO | Z21080273 | |||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-4400MC | Z21080270 | |||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-4400MC | Z21080268 | |||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-4400M | Z21080259 | |||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-410 | Z21080254 | |||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-400MK3 | Z21080253 | |||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-400MK3 | Z21080252 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D981 | Z21080251 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D981C | Z21080250 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-761 | Z21080249 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D980C | Z21080248 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D980 | Z21080247 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D980 | Z21080246 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D980 | Z21080245 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D980 | Z21080244 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D980 | Z21080243 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D980 | Z21080242 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D980 | Z21080241 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D980 | Z21080240 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D980C | Z21080239 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D980C | Z21080238 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D980C | Z21080237 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D980C | Z21080236 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D980C | Z21080235 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D980C | Z21080234 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D980C | Z21080233 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-981 | Z21080232 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-980 | Z21080231 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-790 | Z21080230 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-781C | Z21080229 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-780C | Z21080228 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-780C | Z21080227 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-771AC | Z21080226 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-771AC | Z21080225 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-771A | Z21080224 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-780C | Z21080223 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-770AC | Z21080222 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-770AC | Z21080221 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-770AC | Z21080220 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-770AC | Z21080219 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-770AC | Z21080217 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-770AC | Z21080216 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-770A | Z21080214 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-261J | Z21080213 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-260J | Z21080212 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-260J | Z21080211 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-260J | Z21080210 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-260J | Z21080209 | |||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-260J | Z21080208 | |||
| アクティブピラニゲージ | エドワーズ | APG-L-NW16 | Z21080207 | |||
| アクティブピラニゲージ | エドワーズ | APG-L-NW16 | Z21080206 | |||
| アクティブピラニゲージ | エドワーズ | APG-L-NW16 | Z21080205 | |||
| DC電源 | XANTREX | XKW40-25 | Z21080204 | 2003 | ||
| DC電源 | XANTREX | XKW40-25 | Z21080203 | 2003 | ||
| DC電源 | XANTREX | XKW150-20 | Z21080202 | 2003 | ||
| DC電源 | XANTREX | XKW150-20 | Z21080201 | 2003 | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | SAM | SFC480EMC-4VM | Z21041916 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-3400SM-SP | Z21041913 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | リンテック | CV-2100NO LEP | Z21041912 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | リンテック | MC2100MOWR | Z21041911 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | SAM | SFC480EMC-4VM | Z21041910 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Tylan | FC-781 | Z21041908 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-3400 SM | Z21041907 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | リンテック | MC-2100MO | Z21041903 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400MC-057 | Z20120213 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400MC-057 | Z20120211 | フロー制御は問題ありませんが、closeのときも少量ガス漏れ有り | ||
| キャパシタンスマノメータ | MKS | 622A12TAE | Z20120208 | |||
| イオン電源 | COMMONWEALTH SCIENTIFIC CORPORATION | ID3500／2002-004-A | Z20080607 | |||
| イオン電源 | COMMONWEALTH SCIENTIFIC CORPORATION | ID3500／2002-004-A | Z20080606 | |||
| 分圧計 | アルバック Ulvac | model MA-01 | Z200804029 | |||
| クリスタルゲージ | アネルバ ANELVA | M-320XG | Z2008040222 | |||
| クリスタルゲージ | アネルバ ANELVA | M-320XG | Z2008040221 | |||
| ピラニーゲージ | 大亜真空 DIAVAC | PT-3PM | Z2008040217 | |||
| コールドカソード | 大亜真空 DIAVAC | CT-2PM | Z2008040216 | |||
| 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁） | Smc | XYA-40H0 | Z20051163 | 26428-KA01-0001/18075 | ||
| 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁） | Smc | XYA-40H0 | Z20051162 | 26428-KA01-0001/18075 | ||
| その他真空部品（大気圧センサー） | アルバック Ulvac | SAU | Z20051160 | |||
| ビューポート | その他 | Z20051156 | ||||
| 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁） | Smc | XYA-40 | Z20051153 | |||
| 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁） | Smc | XYA-40H0 | Z20051152 | |||
| 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁） | Smc | XYA-40H0 | Z20051151 | |||
| 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁） | Smc | XYA-40H0 | Z20051150 | |||
| 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁） | Smc | XYA-40H0 | Z20051149 | |||
| 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁） | Smc | XYA-40H0 | Z20051148 | |||
| 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁） | Smc | XYA-40H0 | Z20051147 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | 入江工研 IKC | 1LV-100D3 | Z20051142 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051141 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051140 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051139 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051138 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051137 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051136 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051135 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051134 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051133 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051132 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051131 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051130 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051129 | |||
| 真空バルブ（ストレート弁） | Smc | XYH-40 | Z20051127 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | SP1 | Z20051123 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | SP1 | Z20051122 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | SP1 | Z20051121 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | SP1 | Z20051120 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | SP1 | Z20051119 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | SP1 | Z20051118 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051116 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | SPU | Z20051114 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | SPU | Z20051113 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | SPU | Z20051112 | |||
| イオンゲージ | アルバック Ulvac | SH2-1 | Z20051108 | |||
| イオンゲージ | アルバック Ulvac | SH2-1 | Z20051107 | |||
| フローコントローラー | アネルバ ANELVA | Z2004140819 | ||||
| フローコントローラー | アネルバ ANELVA | Z2004140818 | ||||
| フローコントローラー | アネルバ ANELVA | Z2004140817 | ||||
| ピラニー真空計 | アルバック Ulvac | GP-1SRYｰS | Z2004140805 | 表示器のみ | ||
| マッチングボックス | 東京ハイパワー | HC-2000S | Z2004140804 | 560728 | 1996年 | |
| アングルバルブ | バリアン Varian | L6591-301 | Z200414049 | |||
| アングルバルブ | Vat | 28332-GE01-0004／0127 | Z200414048 | |||
| サーモカップル（TCゲージ） | アネルバ ANELVA | TG-550B | Z2004140475 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | リンテック | MC-3102L-NC-4JR2AAA00 | Z2004140433 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-E440 | Z2004140431 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | GP-1100 | Z200414043 | |||
| サーモカップル（TCゲージ） | アネルバ ANELVA | Z2004140426 | ||||
| サーモカップル（TCゲージ） | アネルバ ANELVA | Z2004140425 | ||||
| サーモカップル（TCゲージ） | アネルバ ANELVA | Z2004140424 | ||||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | GP-1100 | Z200414042 | |||
| 電流導入端子 | その他 | Z2004140418 | ||||
| 真空バルブ | スウェージロック Swagelok | SS-4BMG-VCR | Z2004140415 | |||
| 真空バルブ | スウェージロック Swagelok | １／４ | Z2004140412 | 数個あり | ||
| マスフローコントローラー電源 | 堀場エステック Stec | PAC-6E | Z2002261709 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-410NC | Z2002261706 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-410NC | Z2002261705 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-410NC | Z2002261703 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-410NC | Z2002261702 | |||
| バラトロン | MKS | 122AA-00010AB | Z2002261701 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | ミリポア Millipore | Z20020760 | ||||
| マスフローコントローラー（MFC） | ミリポア Millipore | Z20020759 | ||||
| マスフローコントローラー（MFC） | ミリポア Millipore | Z20020758 | ||||
| マスフローコントローラー（MFC） | ミリポア Millipore | Z20020757 | ||||
| マスフローコントローラー（MFC） | ミリポア Millipore | Z20020756 | ||||
| 角型ゲートバルブ | Vat | 02110-AA24-AQW1／0057 | Z20020755 | A-356787 | ||
| 圧力コントローラー | MKS | 640A-28779 | Z20020754 | |||
| 圧力コントローラー | MKS | 640A-28779 | Z20020753 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | MKS | 1480A-25077 | Z20020749 | |||
| コンダクタンスバルブ | Vat | CMS-327 | Z20020715 | |||
| コンダクタンスバルブ | Vat | CMS-327 | Z20020714 | |||
| 基板加熱電源 | アルバック Ulvac | PSE-073 | Z19122304 | |||
| 基板加熱電源 | アルバック Ulvac | PSE-073 | Z19122303 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | G-TRAN | Z19091415 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | G-TRAN | Z19091414 | |||
| マルチイオンゲージ | アルバック Ulvac | SH2-1 | Z19091411 | |||
| マルチイオンゲージ | アルバック Ulvac | SH2-1 | Z19091410 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC7330M | Z19091392 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | アズビル | CMQ0050CSSH0100D0 | Z19091365 | |||
| 真空計 | MKS | TYPE270 | Z19091213 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-Z521XN | Z1908040213 | 2008年 | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-Z521XN | Z1908040212 | 2008年 | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-Z511X | Z1908040210 | 2008年 | ||
| DC電源 | Lambda | ESS 200-50－２－Ｄ | Z19071165 | |||
| DC電源 | Lambda | ESS 200-50－２－Ｄ | Z19071164 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | Z19071159 | ||||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | Z19071158 | ||||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | Z19071157 | ||||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FCP1980 | Z19071156 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FCP1981 | Z19071155 | |||
| ビューポート | その他 | Z19071146 | ||||
| ビューポート | その他 | Z19071143 | ||||
| ビューポート | その他 | Z19071140 | ||||
| RF電源 | アルバック Ulvac | RFS-05C | Z19071116 | |||
| ゲージコントローラー | 大亜真空 DIAVAC | PC-1DA | Z19063050 | |||
| イオンゲージ（コントローラー） | Granville-Phillips | Z19063035 | 2006年 | |||
| イオンゲージコントローラー | Granville-Phillips | 370 STABIL-ION CONTROLLER | Z19063034 | |||
| マッチングボックス | アステック ASTECH | ATL-100 | Z190630144 | |||
| RF電源 | 森エンジニアリング | SA3090 | Z190630088 | |||
| DC電源（MDX-10K） | アドバンスドエナジー AE | 3152012-041AB | Z190630066 | |||
| RF電源 | Eni | OEM-12A | Z190630022 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Z19032711 | |||||
| キャパシタンスマノメータ | Brooks | CMX45 | Z19032706 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | MKS | 649A-27650 | Z181219018 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 日立金属 | FCPI 980 | Z181219016 | |||
| RF電源 | SEREN | R301MKⅡ | Z1812190111 | 2012年 | ||
| 圧力コントローラー | Mks | TYPE250 | Z18121417 | |||
| 角型ゲートバルブ | Vat | 02010-AA24-AKA1/0030 | Z18121416 | A-238434 | ||
| 圧力コントローラー | Mks | TYPE113/Model627B | Z18121415 | |||
| ビューポート | その他 | Z18121414 | ||||
| マニピュレーター | その他 | Z18121412 | ||||
| マニピュレーター | その他 | Z18121411 | ||||
| 電流導入端子 | その他 | Z18121409 | ||||
| マスフローコントローラー（MFC） | ヤマタケ Yamatake | CMQ | Z18042328 | 部品どり | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | リンテック | MC-2300RC-4.0-C3 | Z18040910 | |||
| スパークル（アークキラー） | アドバンスドエナジー AE | Sparc-le V | Z180320A3 | |||
| スパークル（アークキラー） | アドバンスドエナジー AE | Sparc-le V | Z180320A2 | |||
| スパークル（アークキラー） | アドバンスドエナジー AE | Sparc-le V | Z180320A1 | |||
| RF電源 | 新電元工業 | XR-P1330 | Z18032097 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032089 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032088 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032087 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032086 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032085 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032084 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032080 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032079 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032078 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032077 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032076 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032075 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032074 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032073 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032072 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C-1 | Z18032065 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032064 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032063 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032062 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032061 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032060 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032059 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032058 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032057 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032056 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032055 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032054 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032053 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032052 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032050 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032047 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032046 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | Z18032023 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | Z18032022 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | Z18032021 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | Z18032020 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | Z18032019 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | Z18032018 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | Z18032017 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | Z18032016 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | Z18032015 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | Z18032014 | |||
| 角型ゲートバルブ | Vat | 02212-BA24-0001/0036 | Z18022304 | A-1094556 | ||
| 角型ゲートバルブ | Vat | 02212-BA24-0002/0012 | Z18022303 | A-1353599 | ||
| 角型ゲートバルブ | Vat | 02110-AA24-AQW1/0057 | Z18022301 | A-356787 | ||
| L型バルブ | Smc | XLC-50-F9NA | Z18021407 | |||
| アクティブゲージ | エドワーズ Edwards | AIM-P-NW25 | Z18012322 | |||
| ピラニーゲージ | エドワーズ Edwards | APG-L-NW16 | Z18012311 | |||
| ピラニーゲージ | エドワーズ Edwards | APG-L-NW16 | Z18012310 | |||
| RF電源 | アドバンスドエナジー AE | M/N 61300043 | Z17121807 | |||
| イオン電源 | その他 | IBS700 | Z17121802 | |||
| アングルバルブ | その他 | Z17121316 | ||||
| ニードルバルブ | その他 | Z17121313 | ||||
| マスフローコントローラー（MFC） | Z17121307 | |||||
| バルブコントローラー | Tylan General | AC-2X | Z17120706 | |||
| ゲートバルブ | Vat | 95244-PAGC-AAQ1/0094 | Z17111418 | |||
| DC電源 | アドバンスドエナジー AE | 3152427-128D | Z17111416 | 675422 | ||
| DC電源 | アドバンスドエナジー AE | 3152427-128D | Z17111415 | 676350 | ||
| ゲートバルブ | Vat | 0340X-LA24-BJK1/0040 | Z17111414 | |||
| 真空計 | インフィコン Inficon | BPG400 | Z17111406 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | SEC-4500MC-SUC | Z17090904 | JA803 | |||
| マルチゲージコントローラー | Granville-Phillips | 360B | Z17080515 | |||
| アングルバルブ | HVA | 14510-0073 | Z17080511 | 07-29435 | ||
| アングルバルブ | Nor-Cal | ESV-0752-CF | Z17080510 | 4649100 | ||
| アングルバルブ | Nor-Cal | ESV-0752-CF | Z17080509 | 291344 | ||
| 直線導入機 | MDC Vacuum Products | ABLM-275-1 | Z17080508 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | リンテック | MC-100 | Z17072910 | |||
| RF電源 | Eni | ACG-5 | Z17052917 | |||
| RF電源 | Eni | ACG-5 | Z17052916 | |||
| イオンゲージ | Granville-Phillips | No354002-YG-T | Z17032762 | |||
| Convectron Gauge | Granville-Phillips | No275 | Z17032761 | |||
| Convectron Gauge | Granville-Phillips | No275 | Z17032760 | |||
| イオンゲージ | Granville-Phillips | No20343041 | Z17032751 | |||
| Convectron Gauge | Granville-Phillips | No275 | Z17032750 | |||
| Convectron Gauge | Granville-Phillips | No275 | Z17032749 | |||
| Convectron Gauge | Granville-Phillips | No275 | Z17032748 | |||
| 角型ゲートバルブ | Vat | 02110-AA24-AQS1/012 | Z17032746 | A-344394 | ||
| 角型ゲートバルブ | Vat | 02110-AA24-AQW1/0072 | Z17032723 | A-442715 | ||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-057D | Z17032707 | |||
| サーモカップル（TCゲージ） | アネルバ ANELVA | WSC-65 | Z17032705 | |||
| イオンゲージ | アネルバ | M-833HG-CC | S21083102 | |||
| イオンゲージ | アネルバ | M-833HG-CC | S21083101 | |||
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | M-431HG | S21052308 | |||
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | M-431HG | S21052307 | |||
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | M-431HG | S21052306 | |||
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | M-431HG | S21052304 | |||
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | M-431HG | S21052303 | |||
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | M-431HG | S21052302 | |||
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | M-431HG | S21052301 | |||
| イオンゲージ | アネルバ | MIG-921 | S21022267 | |||
| イオンゲージ | アネルバ | M-431HG | S21022224 | |||
| DC電源 | アドバンスドエナジー AE | 127500 | S21010727 | |||
| DC電源 | アドバンスドエナジー AE | 127500 | S21010726 | |||
| DC電源 | アドバンスドエナジー AE | MDX10K 3152012 | S21010725 | |||
| スパークル（アークキラー） | アドバンスドエナジー AE | Sparc 3152013 | S21010723 | |||
| スパークル（アークキラー） | アドバンスドエナジー AE | Sparc 3152013 | S21010722 | |||
| RF電源 | ノダRFテクノロジーズ | NR03NP380K | S21010717 | |||
| 真空計 | MKS | 750B11TGA2GA | S21010716 | |||
| 圧力センサー | MKS | 51A11MGA2BA005 | S21010706 | |||
| アクティブゲージ（ピラニー） | エドワーズ Edwards | APG-M-NW16 | S21010705 | |||
| 角型ゲートバルブ | Vat | 02110-CA24-BBF1／0070 | S21010701 | |||
| バルブコントローラー | Vat | PM-4 | S20072322 | |||
| マスフローコントローラー電源 | 堀場エステック Stec | FI-1000 | S20072320 | |||
| RFコントローラー | アドバンスドエナジー AE | M/N 5022-001-C | S20072315 | |||
| RF電源 | RF POWER PRODUCTS | LF-5 | S20041711 | |||
| ゲートバルブ | Vat | 02212-BA24-0001/0036 | G122119 | A-1094556 | ||
| 位相シフター | NRF | NXE-03B-2P | G122114 | |||
| 振子式バルブ | Vat | 446847 | G122111 | |||
| オリフィスコントローラー | アネルバ ANELVA | CMS-201 | G102603 | 部品取り品 | ||
| 振子式ゲートバルブ | Vat | 65050-JH52-0002/0003 | G100402 | |||
| イオン電源 | Veeco | MPS-5001 | G092018 | 20060502 | ||
| DC電源 | 松定プレシジョン Matsusada | MR150-20 | G041116 | |||
| ゲートバルブ | Vat | 14040-CE24-ABL2/0047 | G041107 | |||
| ピラニーゲージ | 大亜真空 | CT-2P | G033104 | |||
| 真空計 | アネルバ ANELVA | MTG-015 | G031426 | |||
| RF電源 | ノダRFテクノロジーズ | NL-05N/NCD-02 | G031126 | |||
| 真空計 | アルバック Ulvac | G031119 | ||||
| マスフローコントローラー（MFC） | ヤマタケ Yamatake | CMQ-V | G020414 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | ヤマタケ Yamatake | CMQ-V | G020413 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | ヤマタケ Yamatake | CMQ-V | G020412 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | ヤマタケ Yamatake | CMQ-V | G020411 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | ヤマタケ Yamatake | CMQ-V | G020410 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | ヤマタケ Yamatake | CMQ-V | G020409 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | ヤマタケ Yamatake | CMQ-V | G020408 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | ヤマタケ Yamatake | CMQ-V | G020407 | |||
| DC電源 | アドバンスドエナジー AE | ピナクル PINNACLE20K PFP | F120703 | 3152420-107U | ||
| DC電源 | アドバンスドエナジー（AE） | pinnacle 12kW | F062208 | |||
| RF電源 | 日本電子 Jeol | JRF-750 | F032265 | |||
| RF電源 | アルバック Ulvac | RFS-05A | F032240 | |||
| マッチングボックス | 電気興業 | ST-05S | F032214 | |||
| マイクロ波電源 | ニッシン | MPS-15D | F032213 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | GP-1100 | F031228 | |||
| カバーフランジ | F031224 | |||||
| 真空バルブ（ガス導入弁） | Vacuum Generators | LV9207012 | E1224019 | |||
| フォアライントラップ | Nor-Cal | FTA-4-01-NWB-CS | E1224017 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | GP-1GRY | E12240148 | 03320G | ||
| ビューポート | その他 | E12240125 | ||||
| ビューポート | その他 | E12240123 | ||||
| アングルバルブ | Vat | 57132-GE02 | E12240122 | |||
| ゲートバルブ | エドワーズ Edwards | GVC060P | E121902 | |||
| L型バルブ | アネルバ ANELVA | E11213713 | ||||
| 真空計 | アネルバ ANELVA | MG-1F | E11213712 | |||
| ビューポート | アネルバ ANELVA | E11213711 | ||||
| ビューポート | アネルバ ANELVA | E11213710 | ||||
| ビューポート | アネルバ ANELVA | E11213709 | ||||
| ビューポート | アネルバ ANELVA | E11213708 | ||||
| ビューポート | アネルバ ANELVA | E11213707 | ||||
| ビューポート | アネルバ ANELVA | E11213706 | ||||
| ビューポート | アネルバ ANELVA | E11213705 | ||||
| ビューポート | アネルバ ANELVA | E11213704 | ||||
| 電流導入端子 | アネルバ ANELVA | E11213703 | ||||
| 電流導入端子 | アネルバ ANELVA | E11213702 | ||||
| 電流導入端子 | アネルバ ANELVA | E11213701 | ||||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | E040423 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | E040422 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | E040421 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | E040420 | |||
| RFコントローラー | アネルバ ANELVA | PSC-111 | E040419 | |||
| ピエゾバルブ | 堀場エステック Stec | PV-1202MC | E012728 | |||
| ピラニー真空計（トランスデューサ） | 大亜真空 | TR-1DB | D072607 | |||
| ゲートバルブ | 11222-1209R-001 | D072097 | ||||
| バラトロン真空計 | MKS | 690A01TRC | D072092 | |||
| バラトロン真空計 | MKS | TYPE270 | D072091 | |||
| ピラニーゲージ | 芝浦エレテック（SHIBAURA) | TPG-1RC | D072089 | |||
| ピラニーゲージ | 芝浦エレテック（SHIBAURA) | TPG-1RC | D072088 | |||
| ピラニーゲージ | 芝浦エレテック（SHIBAURA) | TPG-1RC | D072087 | |||
| ピラニーゲージ | 芝浦エレテック（SHIBAURA) | TPG-1RC | D072086 | |||
| 真空ゲージコントローラー | GRAVILLE-PHILLIPS | 338 | D072083 | |||
| 真空ゲージコントローラー | GRAVILLE-PHILLIPS | 338 | D072082 | |||
| 真空ゲージコントローラー | MRC | 40520520-01 | D072081 | |||
| IBSコントローラー | コモンウェルズ（Commonwealth） | TBS-600 | D072079 | |||
| シングルゲージ | バルザース（BALZERS) | D072077 | ||||
| 真空圧力ゲージ | D072067 | |||||
| 真空ゲージコントローラー | MRC | 40520520-01 | D072065 | |||
| マッチングユニット | JRC | NFC-30-5A | D072051 | |||
| ユニット型電源 | TDK | HR-11F-24V5A | D072038 | |||
| マッチングコントローラー | 京三製作所（KYOSAN） | MAK5A | D072032 | |||
| バラトロン真空計 | MKS | TYPE270 | D072006 | |||
| バルブ | SMC | D051236 | ||||
| バルブ | SMC | D051235 | ||||
| バラトロン真空計 | バラトロン（BARATRON） | 270A | D040454 | |||
| キャパシタンスダイアフラムゲージ | TYLAN GENERAL | CMH-05S06 | D040431 | |||
| キャパシタンスダイアフラムゲージ | TYLAN GENERAL | CMH-05S06 | D040430 | |||
| バラトロン真空計 | バラトロン（BARATRON） | 122RA | D040425 | |||
| バラトロン真空計 | バラトロン（BARATRON） | 122RA | D040423 | |||
| キャパシタンスダイアフラムゲージ | TYLAN GENERAL | CMH-05S06 | D040422 | |||
| キャパシタンスダイアフラムゲージ | TYLAN GENERAL | CMH-05S06E | D040421 | |||
| MINI-CONVECTRON真空計 | GRANVILLE-PHILLIPS | 275 | D040413 | |||
| キャパシタンスダイアフラムゲージ | TYLAN GENERAL | CMH-05S06 | D040412 | |||
| キャパシタンスダイアフラムゲージ | TYLAN GENERAL | CMH-05S06 | D040411 | |||
| キャパシタンスダイアフラムゲージ | TYLAN GENERAL | CMH-05S06 | D040410 | |||
| キャパシタンスダイアフラムゲージ | TYLAN GENERAL | CMH-05S06 | D040409 | |||
| RF電源 | アルバック | RFS-1330L | D030893 | |||
| ピラニーゲージ（G-TRAN） | アルバック | SP-1 | D030820 | |||
| ピラニーゲージ（G-TRAN） | アルバック | SP-1 | D030819 | |||
| ピラニーゲージ（G-TRAN） | アルバック | SP-1 | D030818 | |||
| ピラニーゲージ（G-TRAN） | アルバック | SP-1 | D030815 | |||
| ピラニーゲージ（G-TRAN） | アルバック | SP-1 | D030814 | |||
| 圧力コントローラー | MKS | 600シリーズ | D030808 | |||
| 圧力コントローラー | MKS | 600シリーズ | D030807 | |||
| 圧力コントローラー | MKS | 600シリーズ | D030806 | |||
| 真空計コントローラー | Granville Phillips | 338 | C123014 | |||
| 真空計コントローラー | Granville Phillips | 338 | C123013 | |||
| 真空ゲート弁（バルブ） | VAT | 14040-CE24-ABL1 | C113041 | |||
| 真空ゲート弁（バルブ） | VAT | 14040-CE24-ABL1 | C113039 | |||
| ピラニーゲージ PIRANI GAUGE | SHIBAURA | TPG-1R | C051103 | S/N 0712 | ||
| コンダクタンスバルブ | VAT | 95244-PAGC-AAQ1/0091 | C032864 | |||
| CVCC可変電源 | LAMBDA | GEN600-1.3 | C032812 | |||
| CVCC可変電源 | LAMBDA | GEN600-1.3 | C032811 | |||
| CVCC可変電源 | LAMBDA | GEN600-1.3 | C032810 | |||
| DC電源 | ELECTORONIC MEASUREMENT INC | TCR600S1 | C032804 | |||
| DC電源 | ELECTORONIC MEASUREMENT INC | EMS60-10 | C032801 | |||
| アングルバルブ | 入江工研 | 1LV25NO | C021329 | 特殊 高温タイプ | ||
| 圧力コントローラー | VAT | PM-6 | C021325 | |||
| アングルバルブ | 入江工研 | 1LV40NO | C021316 | |||
| アングルバルブ | 入江工研 | 1LV40NO | C021315 | |||
| アングルバルブ | 入江工研 | 1LV40NO | C021314 | |||
| ピラニー真空計 | ULVAC | GP-1000 | B091019 | |||
| 真空計 | Materials Research Corporation | 4052520-01 | B012822 |