PLA501・600シリーズ(キャノン製)のマスクアライナーの販売・修理・オーバーホール対応致します。

古物商許可 山梨県公安委員会許可番号 第471121800039号
アイアールシー株式会社

キャノン(Canon)製マスクアライナーPLAシリーズの販売、修理、メンテナンス、部品販売

Canon マスクアライナー PLAシリーズ
Canon マスクアライナー PLAシリーズ

キャノン製マスクアライナー PLA501・PLA600シリーズ

PLA501シリーズリファブ販売
販売価格300~500万円 要求仕様に応じて対応、3か月保証付き
アライナー関連在庫品情報はこちら

装置立ち上げ / 移設立ち上げ
メーカーの手順に沿って、「組み立て」⇨「動作確認」⇨「精度確認」まで対応

整備・オーバーホール
消耗部品の「交換」「クリーニング」「再生」「精度確認」まで対応

改造
インチ交換 : PLA501 2"~5" 
※インチ交換につきましては装置状態を確認後、対応可否について回答させて頂くことになります 仕様変更/PLA501 「マニュアル搬送」 ⇔ 「オート搬送」 など

部品販売 ユニット整備 貸出 部品の再生(テフロン処理・ミラー再コーティング)
正規品や代替品の販売 GAPユニットのオーバーホール 貸出
テフロン再処理 楕円ミラーの再コーティング

中古アライナー部品 販売例

PLA用5インチキット
PLA用5インチキット
【キット内容】
80万円
チャック・キャリブレーター・C/Lドライブ
PAセンサー部・PA板・搬出トラック
吹き出しノズル・マスクホルダープレート
PLA用2インチキット
PLA用2インチキット
【キット内容】
80万円
チャック・キャリブレーター・C/Lドライブ
PAセンサー部・PA板・搬出トラック
吹き出しノズル・マスクホルダープレート
GAPユニット
GAPユニット
40万円
※販売価格は全て税別、送料別となります。
Canon マスクアライナー 調整用マスク
PLA501 PLA600用マスク
PLA501 PLA600用
型式:No.3 マスクサイズ:6インチ角 / ウェハーサイズ:5インチ用
部番:BY0-8083
12万円
MPA500 MPA600用DRマスク
MPA500 MPA600用DRマスク
型式:No.35-3 マスクサイズ:6インチ角 / ウェハーサイズ:5インチ用
12万円
MPA500 MPA600用DRマスク
MPA500 MPA600用DRマスク
型式:No.210 マスクサイズ:5インチ角 / ウェハーサイズ:4インチ用
基準ガラスウェハー付き
108万円
MPA600用DRマスク
MPA600用DRマスク
型式:No.52 マスクサイズ:7インチ丸 / ウェハーサイズ:6インチ用
180万円
MPA500 MPA600用フォーカス調整マスク
MPA500 MPA600用フォーカス調整マスク
型式:No.13 ウェハーサイズ:3インチウエハー用
72万円
MPA500 MPA600用フォーカス調整マスク
MPA500 MPA600用フォーカス調整マスク
型式:No.36-3 ウェハーサイズ:4インチウエハー用
84万円
MPA500 MPA600用フォーカス調整マスク
MPA500 MPA600用フォーカス調整マスク
型式:No.36-3 ウェハーサイズ:5インチウエハー用
96万円
MPA600用フォーカス調整マスク
MPA600用フォーカス調整マスク
型式:No.36-3 ウェハーサイズ:6インチウエハー用
108万円