マスフローコントローラー・ガス混合器 販売
マスフローメーター・マスフローコントローラー
デジタルマスフローコントローラー
◆2000シリーズ
表示設定器の一体化により、本体のみで設定制御が可能 デジタル通信：RS485通信機能を標準搭載
アナログ入出力信号：0-5Vと4-20mAを任意に切替可能 積算及び流量異常上下限アラーム機能を搭載
駆動電源：+24VDC単電源(ACアダプター利用可能)
| 型式:マスフローコントローラー | C2005 | C2020 | ||
|---|---|---|---|---|
| 型式:マスフローメーター | M2005 | M2020 | ||
| 流量(N2換算流量) | 10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM 1,2,3,5 SLM |
10SLM | 20SLM (準備中) |
|
| 対応ガス種 | 各種ガス(腐食性ガスはご相談下さい。) | |||
| バルブタイプ | NC：ノーマリークローズ(メーターの場合は対象外) | |||
| 制御流量範囲 | 2～100% F.S(メーターの場合は対象外) | |||
| 流量精度 | ±1% F.S(精度補償範囲15～35℃) | |||
| 流量設定 (メーターの場合は対象外) |
本体表示設定器・イベント入出力切り替え | |||
| デジタル：RS485 アナログ：0.1～5VDC/4.3～20mA(任意切替) | ||||
| 流量出力 | 本体表示機・7セグメントLED | |||
| デジタル：RS485 アナログ：0～5VDC/4～20mA(任意切替) | ||||
| 再現性 | ±0.2% F.S | |||
| 応答時間 | ≦2sec | |||
| 必要差圧 | 50～300kPa | 100～300kPa | - | |
| 耐圧力 | 1MPa(G) | |||
| 使用保証温度 | 5～50℃、85%RH以下 | |||
| 外部リーク | 1×10-7Pa･m3/sec He | |||
| 取付姿勢 | 指定なし(自由) | |||
| 供給電源電圧・消費電流 | +24VDC、250mA未満 | |||
| 通信方式 | デジタル：RS485 アナログ：0～5VDC/4～20mA(任意切替) | |||
| 接ガス部材質 | SUS316、PTFE、フッ素ゴム | |||
| シール部材質 | フッ素ゴム | |||
| アクチュエーター方式 | ソレノイド(メーターの場合は対象外) | |||
| 表面処理 | 機械加工仕上げ | |||
| 接続継ぎ手 | 1/4in.SWL(相当品)、ワンタッチ継手、その他継手形状についてはご相談下さい。 | |||
低価格マスフローコントローラー
◆1000シリーズ
質量流量制御器の基本機能に特化したアナログ低価格モデル
IN側バルブ開時のオーバーシュート（フローサージ現象）を抑制
各種分析・培養・バイオ・農業・医療・医薬・食品・理化学など幅広い分野でご使用いただけます。
| 型式:マスフローコントローラー | C1005 | C1020 | C1030/C1050 | C1100 |
|---|---|---|---|---|
| 型式:マスフローメーター | M1005 | M1020 | M1030/M1050 | - |
| 流量(N2換算流量) | 10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM 1,2,3,55 SLM |
10,20SLM | 30,50SLM | 100SLM |
| 対応ガス種 | 各種ガス(腐食性ガスはご相談下さい。) | Air・N2・Ar・H2・Co2・O2・He | Air・N2 | |
| バルブタイプ | NC：ノーマリーオープン(メーターの場合は対象外) | |||
| 制御流量範囲 | 5～100% F.S(メーターの場合は対象外) | |||
| 流量精度 | ±2% F.S(精度補償範囲15～35℃) | |||
| 流量設定信号 | 0.25～5VDC（メーターの場合は対象外） | |||
| 流量出力信号 | 0～5VDC | |||
| 再現性 | ±0.2% F.S | ±0.5% F.S | ||
| 応答時間 | ≦6sec | ≦15sec | ||
| 必要差圧 | 50～300kPa | 200～300kPa | ||
| 耐圧力 | 1MPa(G) | |||
| 使用保証温度 | 5～50℃、85%RH以下 | |||
| 外部リーク | 1×10-7Pa･m3/sec He | |||
| 取付姿勢 | 指定なし(自由) | |||
| 供給電源電圧・消費電流 | +15VDC：60mA、-15VDC：150mA | |||
| 通信方式 | アナログ：0～5VDC | |||
| 接ガス部材質 | SUS316、PTFE、フッ素ゴム | |||
| シール部材質 | フッ素ゴム | |||
| アクチュエーター方式 | サーマル(メーターの場合は対象外) | |||
| 表面処理 | 機械加工仕上げ | |||
| 接続継ぎ手 | 1/4in.SWL(相当品)、ワンタッチ継手、その他継手形状についてはご相談下さい。 | |||
制御電源一体型マスフローコントローラー
◆CUBEMFCシリーズ
1000シリーズと制御電源をコンパクトにオールインワン
AC100Vのコンセントに接続するだけでご使用いただけます。
各種分析・培養・バイオ・農業・医療・医薬・食品・理化学など幅広い分野でご使用いただけます。
| 型式:マスフローコントローラー | CUBEMFC1005 | |||
|---|---|---|---|---|
| 流量(N2換算流量) | 10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM 1,2,3,55 SLM |
|||
| バルブタイプ | NO：ノーマリーオープン(メーターの場合は対象外) | |||
| 制御流量範囲 | 5～100% F.S(メーターの場合は対象外) | |||
| 流量精度 | ±2% F.S(精度補償範囲15～35℃) | |||
| 流量設定 | 0.25～5VDC、10回転ポテンションメーターにて可変 | |||
| 流量設定・出力信号/表示 | 0～5VDC/DP表示：スケーリング表示（トグルスイッチにて設定・出力表示切替、背面設定・出力モニター端子連動） | |||
| 再現性 | ±0.2% F.S | |||
| 応答時間 | 6sec | |||
| 必要差圧 | 50～300kPa | |||
| 耐圧力 | 1MPa(G) | |||
| 使用保証温度 | 5～50℃、85%RH以下 | |||
| 外部リーク | 1×10-7Pa･m3/sec He | |||
| 電源、消費電流 | 100VAC：500mA | |||
| 通信方式 | アナログ：0～5VDC | |||
| 接ガス部材質 | SUS316、PTFE、フッ素ゴム | |||
| シール部材質 | フッ素ゴム | |||
| アクチュエーター方式 | サーマル(メーターの場合は対象外) | |||
| 表面処理 | 機械加工仕上げ | |||
| 接続継ぎ手 | 1/4in.SWL(相当品)、ワンタッチ継手、その他継手形状についてはご相談下さい。 | |||
| 付属品 | ACケーブル、取り扱い説明書 | |||
ガス混合器
タッチパネル式ガス混合器
◆CUBEGM-Xシリーズ
マスフローコントローラー・制御電源・バルブ・ガスミキサーをオールインワンした
タッチパネル式ガス混合器です。流量の設定がかんたんに行え、各ラインの流量と時間を設定することでプログラム運転が可能です。
また、各ライン基準流量の上下限設定が可能なアラーム機能を搭載し、操作性と機能性を向上させました。
| 品名 | CUBEGMシリーズ | CUBEGM-X2 | CUBEGM-X3 | CUBEGM-X4 |
|---|---|---|---|---|
| サイズ |
CUBEGM-X2：W350×D400×H280(mm) ※突起部を含まず CUBEGM-X3：W350×D400×H280(mm) ※突起部を含まず CUBEGM-X4：W350×D400×H280(mm) ※突起部を含まず |
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| 入力電源 | AC100V | |||
| 消費電流 | MAX 2.3A ※マスフローコントローラー４台搭載の場合 | |||
| 流量レンジ | 1ライン：F.S. 10SCCM～20SLM ※混合ガス流量が50SLM以下のこと | |||
| 流量制御 | MFC：C1000シリーズまたはFCST1000シリーズ | |||
| 流量設定/出力表示 | 0～5VDC | |||
| INLET、OUTLETバルブ | 電磁バルブ | |||
| 外部リーク | ≦5×10-7Pa･m3/sec He | |||
| 耐圧 | 1MPa | |||
| 接ガス部材質 | SUS316、PTFE、フッ素ゴム (FCST1000シリーズの場合：磁性ステンレス、フッ素ゴム又はクロロプレンゴム) |
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| 接続継ぎ手 | 1/4in.SWL(相当品)、その他の継手はご相談下さい。 | |||
| 使用環境 | 温度：5～50℃ 精度保証範囲15～35℃ 湿度30～80%（結露なきこと） | |||
| 付属品 | ACケーブル(2m)、取り扱い説明書 | |||
ガス混合器（バッファタンク仕様）
CUBEGM-Xαシリーズ
タッチパネル式ガス混合器「CUBEGM-Xシリーズ」とバッファタンクを一体化したモデルです。
「CUBEGM-Xシリーズ」の操作性、機能性はそのまま引き継ぎ、二次側装置への供給流量変動に対応させました。
ストッパー付きキャスターを標準装備し移動をしやすくしました。
| 品名 | CUBEGM-Xαシリーズ | CUBEGM-Xα2 | CUBEGM-Xα3 | CUBEGM-Xα4 |
|---|---|---|---|---|
| サイズ |
CUBEGM-Xα2：W350×D400×H1100(mm) ※タンク容量10Lの場合 CUBEGM-Xα3：W350×D400×H1100(mm) ※タンク容量10Lの場合 CUBEGM-Xα4：W350×D400×H1100(mm) ※タンク容量10Lの場合 注1)高さは、タンク容量で決まります。 |
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| 入力電源 | AC100V | |||
| 消費電流 | MAX 2.3A ※マスフローコントローラー４台搭載の場合 | |||
| 流量レンジ | 1ライン：F.S. 10SCCM～20SLM ※混合ガス流量が50SLM以下のこと | |||
| 流量制御 | MFC：C1000シリーズまたはFCST1000シリーズ | |||
| 流量設定/出力表示 | 0～5VDC | |||
| INLET、OUTLETバルブ | 電磁バルブ | |||
| 外部リーク | ≦5×10-7Pa･m3/sec He | |||
| 耐圧 | 1MPa | |||
| 接ガス部材質 | SUS316、PTFE、フッ素ゴム (FCST1000シリーズの場合：磁性ステンレス、フッ素ゴム又はクロロプレンゴム) |
|||
| 接続継ぎ手 | 1/4in.SWL(相当品)、その他の継手はご相談下さい。 | |||
| 使用環境 | 温度：5～50℃ 精度保証範囲15～35℃ 湿度30～80%（結露なきこと） | |||
| 付属品 | ACケーブル(2m)、取り扱い説明書 | |||
制御電源一体型マスフローコントローラー
◆CUBEMFCシリーズ
1000シリーズと制御電源をコンパクトにオールインワン
AC100Vのコンセントに接続するだけでご使用いただけます。
各種分析・培養・バイオ・農業・医療・医薬・食品・理化学など幅広い分野でご使用いただけます。
| 型式:マスフローコントローラー | CUBEMFC1005 | |||
|---|---|---|---|---|
| 流量(N2換算流量) | 10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM 1,2,3,55 SLM |
|||
| バルブタイプ | NO：ノーマリーオープン(メーターの場合は対象外) | |||
| 制御流量範囲 | 5～100% F.S(メーターの場合は対象外) | |||
| 流量精度 | ±2% F.S(精度補償範囲15～35℃) | |||
| 流量設定 | 0.25～5VDC、10回転ポテンションメーターにて可変 | |||
| 流量設定・出力信号/表示 | 0～5VDC/DP表示：スケーリング表示（トグルスイッチにて設定・出力表示切替、背面設定・出力モニター端子連動） | |||
| 再現性 | ±0.2% F.S | |||
| 応答時間 | 6sec | |||
| 必要差圧 | 50～300kPa | |||
| 耐圧力 | 1MPa(G) | |||
| 使用保証温度 | 5～50℃、85%RH以下 | |||
| 外部リーク | 1×10-7Pa･m3/sec He | |||
| 電源、消費電流 | 100VAC：500mA | |||
| 通信方式 | アナログ：0～5VDC | |||
| 接ガス部材質 | SUS316、PTFE、フッ素ゴム | |||
| シール部材質 | フッ素ゴム | |||
| アクチュエーター方式 | サーマル(メーターの場合は対象外) | |||
| 表面処理 | 機械加工仕上げ | |||
| 接続継ぎ手 | 1/4in.SWL(相当品)、ワンタッチ継手、その他継手形状についてはご相談下さい。 | |||
| 付属品 | ACケーブル、取り扱い説明書 | |||