真空システム・ガス供給機器の設計製作施工

真空システム・ガス供給機器の設計製作施工

各種ガス供給機器、供給設備の新設、増設、改造、修理の設計製作工事施工

• 各種ガスシリンダーキャビネット（法対応含む）
• ガスボンベスタンド、ボンベカート
• ガスパネル、マニホールド設計製作施工
• 圧力、流量、温度制御システム
• ガス漏洩検知システム（緊急遮断仕様まで）
• 現場ガス配管工事、特殊ガス配管工事、液体窒素配管工事など

液体窒素、液体ヘリウム　極低温クライオスタット、真空二重配管の設計製作工事施工

• 液体窒素クライオスタット
  • LN2 or 冷凍機式コールドトラップ設計製作
  • 液体窒素自動供給装置
  • 液体窒素液面センサー及び残量管理供給システム
  • 液体窒素滴下装置
  • 真空装置用サンプルステージ温調制御機器を含む設計製作
• 液体ヘリウムクライオスタット
  • 極低温容器及びトランスファーチューブ特注品　設計製作
  • LHe 温度冷凍機式クライオスタット
• 液体窒素用真空二重配管
  • LN2簡易断熱仕様，LN2真空二重配管配管（フレキ,ハード配管）

真空及びガス雰囲気　各種高温熱処理炉、設計製作施工

　

• 各種熱処理炉　設計製作、温度仕様、シールド改修まで
  • 真空雰囲気 max 3000℃
  • 到達温度変更に伴うヒーター、シールド改造
  • ヒートゾーン 200cc小型炉から、生産機まで

真空チャンバー　低真空～超高真空域、設計製作施工

• SUS製、アルミ製、銅製、ガラス製、ミューメタル製真空チャンバー製作
• 相フランジ、異形フランジ製作品
• 電流導入端子　電源用、測温用、データー補修用、超高圧用
• ガス導入系　APC:オートプレッシャーコントローラー からMFC,MFM,コリオリ式液体MFC
• サンプルステージ冷却用LN2,LHe 導入配管製作
• さまざまな新たな取り組みに解決を要す創意工夫ご提案など