中古真空コンポーネント、直線導入機の販売、在庫紹介

直線導入機は、真空容器（チェンバー）の外部から内部へ、真空状態を保持したまま直線運動を伝達するための真空コンポーネントです。真空環境下で内部のサンプルや機構を機械的に動かす役割を担う、非常に重要な要素技術の一つです。

【仕組み】

直線導入機が真空を維持しながら動力を伝える仕組みには、主にいくつかの方式が存在します。最も一般的かつ信頼性が高いのが「金属ベローズ方式」です。この方式では、伸縮性を持つ金属製の蛇腹構造（ベローズ）が使用されます。ベローズの一端はチェンバーの固定フランジに、もう一端は駆動軸に溶接されており、大気側と真空側を完全に空間隔離します。軸が前後運動する際、金属ベローズが伸び縮みすることで、気密性を一切損なうことなく内部へ直線運動を伝えることができます。

次に「マグネット結合方式（磁気結合方式）」があります。これは、非磁性の隔壁パイプを挟んで大気側と真空側にそれぞれ強力なマグネットを配置する仕組みです。大気側のマグネットをスライドさせると、磁力によって真空側のマグネットおよび内部シャフトが追従して動きます。物理的な貫通部が存在しないため、漏れ（リーク）のリスクが構造的に存在しない点が大きな特徴です。

また、比較的低真空領域や簡易的な用途では「摺動（しゅうどう）シール方式」も用いられます。シャフトとフランジの隙間にOリングやフッ素樹脂製のシール材を配置し、シャフトを直接滑らせる方式です。構造がシンプルで安価ですが、摩擦によるシール材の摩耗や微小なリークが発生する可能性があるため、超高真空には不向きです。

【特徴】

直線導入機には、真空プロセスの精度と安定性を支えるための優れた特徴が備わっています。

第一に、高い気密性と真空対応力です。特に金属ベローズ方式を採用した製品は、10のマイナス8乗パスカ以下の超高真空（UHV）領域に対応可能です。また、真空チェンバー内に残留する気体を減らすための「ベーキング（加熱脱ガス処理）」に耐えられるよう、200度以上の耐熱性を持つオールメタル構造の設計が一般的です。

第二に、極めて高い位置決め精度が挙げられます。半導体製造や表面分析では、マイクロメートル（μm）単位、あるいはそれ以上の高精度な位置制御が求められます。直線導入機は、精密ネジ機構やマイクロメータヘッド、またはステッピングモーターやサーボモーターと組み合わせることで、再現性の高い微細な位置調整を可能にしています。

第三に、大気圧差荷重への耐久性です。真空チェンバーの内部と外部では大きな圧力差が生じるため、導入機の軸には常に内部へ引き込まれる強い力がかかります。直線導入機は、この高荷重に耐えながらスムーズな動作を維持できるよう、高剛性なガイド構造が組み込まれています。

【用途】

直線導入機は、高度な真空技術を必要とする多様な産業・研究分野で活用されています。

まず、半導体および液晶・有機ELディスプレイの製造装置分野です。スパッタリング装置やCVD装置、蒸着装置などにおいて、ウエハや基板を保持するステージの昇降機構、膜厚をコントロールするためのシャッターの開閉機構、ロードロック室から反応室へ基板を搬送するアームの駆動部として不可欠な存在となっています。

次に、薄膜形成や分子線エピタキシー（MBE）装置などの研究開発分野です。蒸発源と基板の距離を精密に調整したり、多層膜を形成する際に材料のシャッターを正確なタイミングで遮蔽したりする用途で使用されます。

さらに、表面分析および材料評価装置での利用も盛んです。走査型電子顕微鏡（SEM）、X線光電子分光装置（XPS）、二次イオン質量分析装置（SIMS）などでは、分析対象となる試料（サンプル）を真空容器内に導入し、観察位置を特定するサンプルの微動ステージとして活躍しています。

そのほか、放射光施設や粒子加速器といった大型科学研究施設においても、ビームライン上のコンポーネント（スリットや検出器）をミリ単位以下で位置決めするための重要なパーツとして広く導入されています。