中古計測、計量機、オゾン測定器の販売、在庫紹介

■オゾン測定器の仕組み

オゾン測定器は、強力な酸化作用を持つオゾン（O3）の濃度を正確に計測するための産業用機器です。オゾンの物理的・化学的特性を利用した複数の測定方式が存在し、測定対象の濃度範囲や設置環境、求められる精度に応じて最適な方式が選定されます。

代表的な測定方式として「紫外光吸収法（UV吸収法）」が挙げられます。オゾン分子が波長254ナノメートル付近の紫外線を強く吸収する性質を利用した手法です。測定セル内に試料ガスを通し、紫外線の透過率の変化からオゾン濃度を算出します。この方式は測定精度が非常に高く、長期的な安定性にも優れているため、校正用の標準器や厳密な濃度管理が求められる現場で広く採用されています。

現場での持ち運びや省スペース設置を重視する用途では「電気化学式」や「半導体式」が用いられます。電気化学式は、オゾンが電極表面で起こす還元反応によって生じる微小な電流値を測定する仕組みです。小型で消費電力が少なく、作業環境の漏洩検知に適しています。半導体式は、金属酸化物半導体の表面にオゾンが吸着した際の電気抵抗の変化を検出する方式で、低価格かつ高感度な測定が可能です。そのほか、簡易的な測定には、呈色反応を利用した検知管式なども用いられます。


■オゾン測定器の主な特徴

産業機械としてのオゾン測定器には、過酷な使用環境や多様な運用形態に対応するためのさまざまな特徴を備えています。

第一に、幅広い測定レンジと高い分解能です。作業者の安全を確保するための環境測定ではppb（10億分の1）レベルの超微量な濃度変化を捕らえる必要があります。一方で、殺菌や洗浄工程では高濃度のオゾンガスやオゾン水を扱うため、数百ppmや数百g/m3といった高濃度に対応しなければなりません。オゾン測定器は目的に合わせ、極小値から高濃度まで正確に測定できる設計が施されています。

第二に、リアルタイムなモニタリングと高速な応答性能です。オゾンは自己分解しやすく濃度変動が激しい物質です。そのため、多くの測定器は数秒単位でのリアルタイム計測に対応しており、異常な濃度上昇や低下を瞬時に検知することができます。

第三に、安全管理システムや制御装置との優れた連動性です。多くの定置型オゾン測定器は、警報出力やアナログ信号出力、各種通信ポートを備えています。規定値を超えた際にオゾン発生装置を自動停止させたり、換気設備を起動させたりするような、工場全体の安全対策システムとの統合が容易に行えます。

さらに、オゾン特有の強い腐食性に耐えるため、ガスが接触する配管やセンサー部にはフッ素樹脂や石英ガラスなどの耐オゾン性素材が使用されている点も大きな特徴です。


■オゾン測定器の主な用途

オゾンは強力な殺菌・脱臭・酸化力を持ちながら、分解すると酸素に戻るため残留物が残らないという優れた特徴を持っています。そのため、多種多様な産業分野で導入が進んでおり、オゾン測定器の用途も広がっています。

水処理およびインフラ分野では、上下水道の殺菌やプール・浴場水の水質管理、工業排水の脱色・脱臭処理において、水中の残留オゾン濃度や排ガス中のオゾン濃度を監視するために活用されています。

半導体や液晶などの精密電子部品製造分野では、ウエハの超純水オゾン洗浄工程やレジスト剥離プロセスなどで高濃度のオゾンが使用されます。ここでは、製品の製造品質を均一に保つための精密なプロセス制御用として測定器が不可欠となっています。

食品・医薬品分野では、工場内の空間殺菌や製造ラインの除菌、包装資材の消毒などにオゾンが利用されます。十分な殺菌効果を得るための濃度管理や、作業再開時にオゾンが安全なレベルまで低減されたかを確認するために用いられます。

労働安全衛生・環境管理においても重要です。オゾンは高濃度になると人体に有害な影響を及ぼすため、作業環境中の許容濃度（一般的に0.1ppm以下）を超えないよう、漏洩監視用として定置型やポータブル型の測定器が常時運用されています。