中古真空コンポーネント、真空フランジの販売、在庫紹介

真空フランジは、真空装置や真空配管の接続部に使用される機械要素であり、内部の真空状態を維持しながら配管や気密容器（チャンバー）同士を確実に接合する役割を果たします。その最大の特徴は、極めて高い気密性（リークフリー性能）を有している点にあります。一般的な配管フランジとは異なり、気体分子の微小な漏れすら許されない環境で使用されるため、接合面の平滑度が高精度に管理されており、使用する真空度（圧力領域）に応じた専用のシール構造が採用されています。

真空フランジの仕組みは、対になるフランジの間にシール材を挟み込み、外部からの圧力で圧縮・変形させることで気密を保持する構造です。仕組みは大きく分けて「エラストマー（ゴム）シール」と「メタルシール」の2種類が存在します。

エラストマーシール構造では、フッ素ゴムなどのOリングを使用します。フランジ同士をクランプやボルトで締め付けることでOリングが圧迫され、接触面の微細な隙間を埋めてシール性能を発揮します。この方式は着脱が容易で繰り返しの使用に適しています。

一方、メタルシール構造は、主に無酸素銅などの柔らかい金属ガスケットを使用します。フランジ面に形成された「ナイフエッジ」と呼ばれる鋭利な突起が、ボルトの強力な締め付け力によって銅ガスケットに喰い込み、金属を変形させることで分子レベルの完全な気密を作り出します。ゴムシールでは対応できない極限の真空状態や、高温での加熱放出ガス処理（ベーキング）に耐えられる仕組みになっています。

真空フランジには用途や圧力範囲に応じた主要な規格が存在し、以下のような特徴を持っています。

KFフランジ（NWフランジ）
小型の真空配管に使用される規格です。センターリングとOリングを間に挟み、外側からチェーンクランプで固定します。工具を使わずに短時間で着脱できる利便性の高さが特徴です。

ISOフランジ
中型から大型の配管に使用される標準的な規格です。クランプで固定するISO-Kや、ボルトで固定するISO-Fなどがあり、大口径の配管ラインで安定した気密性を確保します。

CFフランジ（コンフラットフランジ）
超高真空（UHV）領域で使用される最高品質の規格です。前述のナイフエッジと銅ガスケットによるメタルシール構造を採用しており、極めて低い圧力状態を長期間維持することができます。

真空フランジの用途は、高精度な真空環境を必要とする多種多様な産業分野に広がっています。

最も代表的な用途は、半導体や液晶パネルの製造装置です。スパッタリング、CVD、エッチングといった薄膜形成や加工プロセスでは、不純物の混入を防ぎプロセスガスを適切に制御するため、各種真空フランジが大量に使用されています。

また、先端技術の研究開発分野でも不可欠です。粒子加速器、電子顕微鏡、表面分析装置などの精密機器では、装置内部を極限の超高真空状態にする必要があり、信頼性の高いCFフランジが採用されます。

さらに、金属の真空熱処理炉、薬品・食品の真空乾燥装置、光学レンズの蒸着装置、宇宙空間の環境を再現するスペースシミュレーションチャンバーなど、過酷な動作条件や高い信頼性が求められる産業機械の重要部品として幅広く活用されています。