中古真空ポンプ、スクリュードライポンプの販売、在庫紹介

### 仕組み

スクリュードライポンプは、2本のスクリューローターが非接触で互いに逆方向に回転し、気体や流体を連続的に移送する容積式のポンプです。

密閉されたケーシングの内部には、精密に加工された左右一対のスクリューが配置されています。これらは駆動ギアによって同期され、スクリュー同士やケーシング内壁と接触することなく、微小な隙間（クリアランス）を保ちながら高速回転します。

ローターが回転すると、吸気口側から導入された対象物がスクリューの溝とケーシングの間の空間に閉じ込められます。回転が進むにつれてこの密閉空間は軸方向に沿って吐出口側へと連続的に移動し、内部で圧縮されながら外部へ押し出されます。ポンプ室内にオイルや水などの封入液を一切使用しない「ドライ」な構造により、移送物を汚染することなく高効率な排気が可能です。

### 特徴

スクリュードライポンプには、従来のオイルシール式ポンプや水封式ポンプと比べて多くの優れた特徴があります。

第一に、完全オイルフリーによる高いクリーン性です。ポンプ内部に潤滑油を使用しないため、移送物に油分が混入するリスク（バックストリーミング）がなく、排気ガスによる作業環境の汚染も防げます。

第二に、優れた耐久性とメンテナンス性の高さです。内部の回転部品が非接触であるため摩耗が非常に少なく、長寿命です。また、オイル交換や廃油処理の手間、ランニングコストを大幅に削減できます。

第三に、異物や凝縮性ガスに対する高い耐性です。スクリューの連続移送アクションにより、粉塵（パーティクル）や水蒸気、腐食性ガスが混入しても内部に留まりにくく、トラブルを起こさずに排出できます。

第四に、高いエネルギー効率と静音性です。吸気部から吐出部に向かってスクリューの溝の間隔を変化させる「可変ピッチ構造」を採用しているモデルが多く、内部での圧縮効率を高めて消費電力を抑えています。また、脈動が小さいため振動や騒音も低減されます。

### 用途

スクリュードライポンプは、高度な品質管理やクリーンな真空環境、厳しい動作条件が求められる多様な産業分野で導入されています。

半導体や液晶ディスプレイの製造分野では、CVD、エッチング、スパッタリングなどの真空プロセスに欠かせません。プロセス中で発生する強力な反応性ガスや副生成物の微粒子を、安全かつクリーンに排気する用途で標準的に使われています。

化学・医薬品分野では、反応釜での真空蒸留、乾燥、脱気、有機溶剤の回収に活用されます。オイル汚染がないため製品の純度を高く保つことができ、危険性の高い爆発性ガスに対応した防爆仕様のモデルも多く活躍しています。

食品・包装分野では、真空パック包装や食品の真空乾燥、脱気処理に用いられます。水蒸気を大量に含む気体でも安定して排気できるため、衛生面と信頼性を両立した設備として評価されています。

その他、リチウムイオン電池の製造工程、金属の真空熱処理炉、表面処理装置、二次電池の脱気処理など、クリーンかつ高効率な真空環境を必要とする最先端のものづくり現場で広く利用されています。