中古真空ポンプ、ルーツポンプの販売、在庫紹介

### ルーツポンプの仕組み

ルーツポンプは、２個の繭型（ひょうたん型）または８の字型のローター（回転体）をケーシング（容器）内で互いに逆方向に回転させることで気体を輸送する容積式の真空ポンプです。

ローター同士、およびローターとケーシングの内壁は、微小な隙間（クリアランス）を保ちながら接触することなく非接触で同期回転します。この同期回転は、軸端に取付けられたタイミングギアによって正確に制御されています。

回転に伴い、吸気口側から取り込まれた気体は、ローターとケーシングの間の空間に閉じ込められます。ローターがさらに回転することで、この気体は内部で圧縮されることなく排気口側へ移送され、排出されます。

ポンプ内部で気体を直接圧縮する機構を持たないため、「移送型」のポンプに分類されます。非接触構造であるため高速回転が可能であり、小型の装置でありながら大きな排気量を効率よく実現できるのが構造上の大きな特徴です。

### ルーツポンプの特徴

ルーツポンプの最大の大きな特徴は「クリーンな排気」と「中真空領域での高い排気性能」です。ポンプ室内に潤滑油を使用しないドライ構造（オイルフリー）にすることができるため、排気に油分が混入せず、クリーンな真空環境を作り出すことができます。

また、100Paから0.1Pa付近の中真空領域において非常に大きな排気速度を発揮します。ただし、構造上の特性として、単体で大気圧から排気することはできません。大気圧付近の高圧下で使用すると、吸気側と排気側の圧力差が大きくなり、微小な隙間からの逆流が増大したり、圧縮熱によってローターが熱膨張して接触・焼付きを起こしたりするリスクがあります。

そのため、通常は油回転真空ポンプやドライ真空ポンプなどの「前段ポンプ（補助ポンプ）」と組み合わせて使用されます。大気圧からある程度の真空度まで前段ポンプで引き引いた後、ルーツポンプを起動させることで、真空容器の引き抜き時間を大幅に短縮することが可能になります。

さらに、非接触で回転するため機械的な摩耗が少なく、耐久性に優れており、メンテナンスの頻度を抑えられる点も長所の一つです。

### ルーツポンプの用途

ルーツポンプはその高い排気性能と信頼性から、大容量の真空排気が必要とされる多種多様な産業分野で広く利用されています。

代表的な用途の一つが、半導体や液晶・有機ELディスプレイの製造装置です。薄膜形成やエッチングなどのプロセスが行われる真空チャンバー内を迅速に減圧し、生産効率（スループット）を向上させるために不可欠な存在となっています。

金属加工分野では、真空熱処理炉や真空溶解炉、真空ろう付け炉などに使用されています。炉内を迅速に真空状態にすることで金属の酸化を防ぎ、高品質な加熱処理や接合を実現します。

化学・薬品分野においては、真空蒸留、真空乾燥、脱気処理などに活用されています。沸点を下げて熱に弱い成分の分解を防ぎつつ、効率よく溶媒を蒸発させるプロセスを支えています。

食品分野では、製品の酸化や劣化を防ぐ真空包装機や、フリーズドライ（凍結乾燥）設備に導入されています。

そのほか、レンズや光学部品の真空蒸着装置、大型の電子線溶接機、さらには高エネルギー物理学で使用される粒子加速器など、最先端の研究・産業設備にも幅広く採用されています。なお、真空用途以外にも、気体を圧縮・送風する「ルーツブロワー」として、水処理施設の曝気（エアレーション）や粉体の空気輸送などにも応用されています。