中古真空コンポーネント、L型バルブの販売、在庫紹介

【L型バルブの特徴】
L型バルブ（アングルバルブ）は、流体の入口と出口が90度の直角に交差している構造を持つ真空バルブです。配管の曲がり角（エルボ部分）にそのまま配置できるため、真空ラインの省スペース化とシンプルな配管レイアウトを実現します。

大きな特徴の一つは、優れた気密性と高いコンダクタンス（気体の通しやすさ）の両立です。高真空から超高真空領域まで対応するモデルが多く、極めて低い外部漏れ（リーク）率を誇ります。また、弁が全開になった際には流路を直動的に大きく確保できるため、排気効率を損なわずに運用可能です。

さらに、耐久性と応答性に優れており、頻繁な開閉動作が求められる自動化ラインでも長寿命を発揮します。構造が比較的シンプルであるためメンテナンス性にも優れており、接続フランジの規格（KF、ISO、CFフランジなど）や材質（アルミニウム合金、ステンレス鋼など）のバリエーションも豊富なため、用途に応じた最適な選定が可能です。

【L型バルブの仕組み】
L型バルブの動作仕組みは、弁体（ポペット）が軸方向へ直線的に移動して弁座を開閉する「ポペット式」が基本構造となっています。

駆動部には、手動操作のほか、工場内の圧縮空気を利用する空圧駆動（エアシリンダ式）や電動モータ式が採用されます。空圧駆動の場合、電磁弁からの信号によってピストンが作動し、弁体を垂直方向に動かします。弁が閉じる際には、駆動部の力で弁体が弁座に強力に押し付けられ、弁体に配置されたOリングや金属シール材が圧縮されて確実な真空シールが形成されます。

また、大気側にある駆動部と真空側の流路を隔てる軸封構造（シャフトシール）も重要です。一般的な高真空用ではコストとメンテナンス性に優れたOリングシールが用いられますが、超高真空用や高クリーン度が重視される環境では、伸縮性のある金属製蛇腹管「ベローズ」が使用されます。ベローズを採用することで、可動部の微少な隙間からの空気侵入や駆動用グリースによる真空汚染を完全に防ぎ、高品位な真空状態を維持できます。

【L型バルブの主な用途】
L型バルブは、精密な真空制御が不可欠な多様な産業分野で用いられています。

最も代表的な分野が、半導体および液晶ディスプレイ（FPD）の製造プロセスです。スパッタリング装置、CVD装置、ドライエッチング装置などの真空チャンバに接続され、プロセスガスの排気制御やチャンバ内の圧力調整を担います。

また、真空排気システムにおける遮断用バルブ（粗引きバルブやメインバルブ）としても広く活用されています。粗引きポンプやターボ分子ポンプなどの排気ポンプと真空チャンバの間に設置され、ポンプの起動・停止時やチャンバの大気解放時に、システム相互を切り離して不必要な気体の逆流を防ぎ、安全な運用を支えます。

その他にも、質量分析計や電子顕微鏡をはじめとする分析・理化学機器、光学薄膜のコーティング装置、真空熱処理炉、さらには粒子加速器のような先端研究施設に至るまで、確実な真空遮断と空間効率が求められるラインで幅広く利用されています。