中古機 L型バルブ Smc製、型式XLC-50-F9NAのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造装置や各種真空排気システムなどの高真空環境で広く使用されるアルミニウム合金製の高真空アングルバルブ（L型バルブ）です。圧縮空気を用いてバルブの開閉を行うエアオペレート形であり、空気圧によって開・閉の両方向を制御する「複動式」の作動機構を採用しています。

ボディには軽量かつコンパクトなアルミニウム合金を使用し、表面には特殊なハードアルマイト処理が施されています。これにより、従来のステンレス鋼製バルブと比較して大幅な軽量化を実現するとともに、金属表面からのアウトガス発生を極めて低く抑え、真空チャンバー内の清浄度維持と真空排気時間の短縮に寄与します。バルブ内部の弁座および外部のシール材にはFKM（フッ素ゴム）製のOリングを採用しており、大気圧から1×10^-6 Paまでの高真空領域において、1.3×10^-10 Pa・m^3/s以下の優れたシール性能（低リーク量）を維持します。

配管接続部は汎用性の高いKF50（NW50）フランジ規格に対応しており、バルブ全開時のコンダクタンスは80 L/sを確保しています。また、本仕様は耐水性を向上させた無接点オートスイッチ（NPN出力・3線式）を標準で搭載しているのが特徴です。これにより、バルブの正確な開閉状態を電気信号として外部に出力でき、各種装置のシーケンス制御や自動化ラインへの組み込みが容易に行える設計となっています。

【AIによる参考仕様】
・バルブ形式: 高真空アングルバルブ（L型バルブ）
・作動方式: エアオペレート形 / 複動式
・接続フランジ規格: KF50（NW50）
・コンダクタンス: 80 L/sec
・適用流体: 不活性ガス、真空
・使用圧力範囲: 大気圧 ～ 1×10^-6 Pa
・操作圧力範囲: 0.3 ～ 0.6 MPa
・内部漏れ量: 1.3×10^-10 Pa・m^3/s 以下（常温時）
・外部漏れ量: 1.3×10^-10 Pa・m^3/s 以下（常温時）
・使用温度範囲: 5 ～ 60 ℃（オートスイッチ搭載に伴う制限温度）
・ボディ材質: アルミニウム合金（特殊ハードアルマイト処理）
・シール材質: FKM（フッ素ゴム / 弁座および外部シール部）
・搭載オートスイッチ: 耐水性向上無接点オートスイッチ（NPN出力 / 3線式 / 使用電圧 DC5～28V / インジケータランプ付）