中古分析機器、X線分析顕微鏡の販売、在庫紹介

■ X線分析顕微鏡の仕組み

X線分析顕微鏡は、細く絞った一次X線を試料に照射し、そこから発生する「蛍光X線」と試料を通り抜ける「透過X線」を検出することで、微小領域の元素分析と内部構造の観察を同時におこなう装置です。

一般的なX線分析では広い範囲にX線が照射されますが、X線分析顕微鏡では「ポリキャピラリ」と呼ばれる特殊な光学素子などを用いて、X線ビームを数マイクロメートルから数十マイクロメートルという極小のスポットに集光します。

この微小なX線ビームを試料に照射すると、構成元素に固有のエネルギーを持つ蛍光X線が発生します。これをエネルギー分散型X線検出器（SDDなど）で計測することで、含まれている元素の種類と含有量を特定します。同時に、試料を透過したX線の強度を検出することで、レントゲン写真のように内部の密度差や構造を非破壊で画像化します。試料ステージを走査（スキャン）させることで、元素の分布状態を示す「元素マッピング像」と「透過X線像」を同時に取得する仕組みになっています。


■ X線分析顕微鏡の主な特徴

1. 非破壊かつ無前処理での分析が可能
走査型電子顕微鏡（SEM-EDS）などを用いた元素分析では、試料に導電性を持たせるための金やカーボンの蒸着処理が必要になる場合があります。一方、X線分析顕微鏡は前処理をほとんど必要とせず、貴重な試料や製品を破壊・変化させずにそのまま測定できます。

2. 大気中・非真空下での測定に対応
電子線を用いる装置とは異なり、高度な真空状態を必要としません。大気中、あるいはヘリウム置換環境で測定ができるため、水分を含んだ生物試料や液体、乾燥によって形状が崩れてしまうサンプル、真空容器に入らない大型基板などもそのまま観察・分析が可能です。

3. 内部構造と元素分布の同時可視化
透過X線によって表面からは見えない内部の空洞や異物の位置を特定し、その場所にある元素が何であるかを蛍光X線で即座に同定できます。構造解析と成分分析をひとつの装置で完結できる点が大きな強みです。


■ X線分析顕微鏡の用途

1. 電子部品・半導体・電池分野
プリント基板上の微小な不要付着物の同定や、ハンダ接合部の内部空洞（ボイド）の観察と成分解析に用いられます。また、リチウムイオン電池の製造工程において、発火の原因となる極小の金属異物混入を検出・解析する用途で非常に重宝されています。

2. 環境・RoHS指令対応
電気・電子製品に含まれる鉛、水銀、カドミウム、六価クロム、臭素などの有害物質規制（RoHS指令）への適合確認において、製品を壊さずに特定の部品や部位だけをピンポイントでスクリーニング検査する際に活用されます。

3. 材料開発・化学分野
新素材や複合材料における添加剤の分散状態の評価、触媒の劣化解析、多層膜の膜厚計測および成分分析に使用されます。製品の斑点や変色といった品質不良が発生した際の原因究明にも有効です。

4. 生物・農学・医学分野
植物の葉や茎における微量金属元素（鉄、亜鉛、カルシウムなど）の吸収・移動プロセスの観察や、動物組織への有害金属の蓄積状態の解析に利用されます。生体試料を凍結乾燥させず、生の状態で観察できる利点が生かされています。

5. 考古学・鑑識・美術品解析
歴史的な出土品や絵画、陶磁器などを傷つけることなく、使用されている顔料の成分を調べて制作年代や作成地を推定します。また、法科学における犯罪現場の微小な証拠品（微細塗料片や異物）の非破壊同定にも幅広く応用されています。