中古機 搬送ロボット JEL製、型式SVCR3330-020-PM-07771のご紹介

【AIによる装置概要】
本機は、半導体製造プロセスの大気環境下において、ウエハ等の基板搬送を行うために設計されたクリーンルーム用円筒座標型ロボットです。主に半導体検査装置や洗浄装置などのローダー・アンローダー部、またはプロセス装置のフロントエンドに組み込まれ、カセットと各ステージ間における精密な基板の移載を自動化します。

構造としては、昇降（Z軸）、アームの伸縮（R軸）、旋回（θ軸）による基本3軸構成を採用しており、限られたフットプリントの中でも効率的でスムーズなアクセスを実現します。型式の構成要素から、本機は駆動源としてパルスモータ（ステッピングモータ）を採用した仕様（PM）であり、Z軸の昇降ストロークが200mm（020）であることが特定できます。また、クリーンルーム内での使用を前提とした密閉・低発塵構造を採用しているため、高度なクリーン環境を維持したまま安定した運用が可能です。

末尾の5桁の数値は、特定の生産装置向けに最適化されたカスタム番号を示しており、対象となるウエハのサイズに合わせたエンドエフェクタ（ハンド）の形状や、配線・配管等の個別仕様が反映されたモデルとなっています。

【AIによる参考仕様】
・対象環境：大気（クリーンルーム対応）
・ロボット形式：円筒座標型基板搬送ロボット（単腕仕様）
・制御軸数：3軸（Z軸：昇降、R軸：伸縮、θ軸：旋回）
・駆動方式：パルスモータ（ステッピングモータ）駆動
・Z軸（昇降）ストローク：200 mm
・繰返し位置決め精度：±0.05 mm 〜 ±0.1 mm
・可搬質量：約 1.5 kg 〜 3.0 kg（エンドエフェクタの重量を含む）
・クリーン度：ISO 14644-1 クラス2（旧 米国連邦規格 クラス10）相当の低発塵構造
・個別仕様部：末尾カスタム番号（07771）に基づく固有仕様（※エンドエフェクタの材質・寸法、ケーブル長、基板検知センサの有無や配置などの詳細な動作範囲については現物の仕様に依存します）