中古機 非接触段差測定機 ユニオン光学製、型式HISOMETⅡのご紹介

【装置概要】
本装置は、光学顕微鏡の技術を応用した高精度な非接触式の段差・深さ測定機です。独自の光学的ピント合わせ機構（スプリット・ルミナス方式）を採用しており、作業者の個人差によるピント合わせの誤差を極限まで排除した精密な測定を実現します。微細な半導体パターン、電子部品、精密金型、光学部品、プラスチック成形品など、接触式測定機では傷がつく恐れのある柔らかい素材や、微小な対象物の段差、溝の深さ、肉厚などの測定に最適です。Z軸（高さ方向）の測定においては最小表示0.1μmの高分解能を誇り、非接触ながら接触式に匹敵する安定した再現性を有しています。観察用の金属顕微鏡としても優れた結像性能を持ち、測定箇所の正確な位置決めと高解像度な表面観察を同時に行うことができます。

【仕様(参考)】
測定方式：非接触光学式（スプリット・ルミナス合焦方式）
Z軸最小表示量：0.1μm
Z軸測定ストローク：50mm
XYステージ移動範囲：50mm × 50mm
Z軸測定繰り返し精度：±0.5μm以内（対物レンズ20×使用時）
最大被検物高さ：115mm
対物レンズ構成（例）：5×、10×、20×、50×
接眼レンズ：10×
総合倍率：50× 〜 500×
照明光源：12V 50W ハロゲン光源（落射・透過）
電源：AC100V 50/60Hz