中古真空ポンプ、メカニカルブースターポンプの販売、在庫紹介

◆ メカニカルブースターポンプの仕組み

メカニカルブースターポンプは、まゆ型（8の字型）をした2つのローターがケーシング（容器）内で互いに逆方向に回転することによって気体を移送する容積式の真空ポンプです。2つのローターはタイミングギアによって同期されており、微小な隙間を保ちながら互いに接触することなく高速で回転します。

ローターが回転すると、吸気口側から入ってきた気体がローターとケーシングの間の空間に閉じ込められます。そのまま回転が続くことで気体は排気口側へと送られ、外部へ排出されます。この構造原理は「ルーツブロワ」と同じであり、ルーツ型ポンプとも呼ばれます。

ただし、メカニカルブースターポンプは単体で大気圧から排気を行うことはできません。大気圧付近で動作させるとローターに大きな負荷がかかり、過熱やブレードの損傷を引き起こすためです。そのため、必ず油回転真空ポンプやドライ真空ポンプなどの「前段ポンプ（バックポンプ）」と組み合わせて使用します。前段ポンプがあらかじめある程度の真空度まで減圧した後に稼働させることで、真価を発揮する仕組みになっています。


◆ メカニカルブースターポンプの特徴

メカニカルブースターポンプの最大の特徴は、中真空領域（100Pa～0.1Pa程度）において極めて大きな排気速度を発揮する点です。前段ポンプ単体では排気能力が低下してしまうこの圧力帯において、メカニカルブースターポンプを併用することで、排気時間を大幅に短縮できます。

構造上のメリットとして、ポンプ室内にオイルなどの潤滑油を使用しないオイルフリー構造であることが挙げられます。ローター同士やケーシングと非接触で回転するため、移送する気体に油分が混入する心配がありません。クリーンな真空環境を求めるプロセスに非常に適しています。

また、非接触で高速回転するため機械的な摩耗が少なく、耐久性に優れています。消費電力に対する排気効率も高いため、システム全体の省エネルギー化にも貢献します。

注意点としては、前段と後段の圧力差（差圧）が大きくなりすぎると内部発熱を起こすリスクがあることです。この対策として、過負荷を防ぐバイパス弁を備えたモデルや、インバータ制御によって大気圧付近から連動して動作できるモデルも広く利用されています。


◆ メカニカルブースターポンプの用途

排気速度の向上と処理時間の短縮を目的として、産業界の多様な真空プロセスで導入されています。

・真空蒸着・スパッタリング（光学・薄膜コーティング）
レンズ、ディスプレイ、自動車部品などの表面処理において、成膜プロセスに入る前の排気時間を大幅に短縮するために使用されます。

・真空熱処理・溶解炉
金属の焼結、ろう付け、溶解などの熱処理工程では、加熱時に炉内から大量のガスが発生します。これらのガスを迅速に排出し、必要な真空度を維持する役割を果たします。

・真空乾燥・凍結乾燥
医薬品、食品、電子部品の乾燥工程において、大量に発生する水蒸気や溶剤ガスを効率よく排気するために利用されます。

・半導体・液晶製造装置
クリーンで大排気量が求められる半導体前工程において、ドライ真空ポンプの排気能力を補助・強化する目的で標準的に組み込まれています。

・真空包装・脱気処理
食品の大型真空包装や、樹脂・化学材料の気泡を取り除く脱気装置など、製造ラインのサイクルタイム短縮に寄与しています。