中古 メカニカルブースターポンプ
メーカー名
荏原製作所 Ebara
型式80*25UERR6M用
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
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【AIによる装置概要】
本装置は、多段ルーツ方式を採用した真空排気用のポンプです。ポンプ室内のガス接液部に潤滑油を一切使用しない完全ドライ仕様となっており、オイルの逆流（バックマイグレーション）による真空チャンバー内の汚染リスクがありません。そのため、高い清浄度が求められるクリーンな真空環境の構築に寄与します。
内部構造は、微小な隙間を保ちながら非接触で同期回転するロータを備えています。部品同士の機械的な摩擦が発生しない設計であるため、摩耗による金属粉の発生を抑えられます。これにより、長期間の連続運転においても排気性能の劣化が少なく、オーバーホールなどのメンテナンスサイクルを長く保つことが可能です。
主な用途として、半導体や電子部品の製造プロセス、真空蒸着・スパッタリングなどの成膜・コーティング装置、液晶ディスプレイの製造、さらには油分の混入を嫌う真空乾燥やガス置換プロセスなどに適しています。大気圧付近から高真空域まで安定した排気性能を発揮し、高い排気効率と優れた耐久性を両立した産業用モデルです。
【AIによる参考仕様】
・ポンプ方式：多段ルーツ型（ドライ真空ポンプ）
・吸気口フランジ：80A（JIS B 2290 VG80 相当）
・排気口フランジ：25A（JIS B 2290 VG25 相当）
・実効排気速度：約 1,500 L/min（90 m3/h）
・到達圧力：1.0 Pa 以下
・モータ定格出力：約 2.2 kW
・電源仕様：三相 200V（50/60Hz）
・冷却方式：水冷式
・所要冷却水流量：2.0 ～ 3.0 L/min
・冷却水圧力：0.1 ～ 0.3 MPa
・潤滑油（ギアボックス側）：フッ素系または合成潤滑油
・概略寸法：全長 約650 mm × 全幅 約300 mm × 全高 約350 mm
・概略質量：約 120 kg
（※上記は同シリーズ標準モデルのデータに基づく参考値です。中古機械につき、搭載モーターの年式や個体ごとの細かな仕様変更によって実際の数値が異なる場合があります。）
本装置は、多段ルーツ方式を採用した真空排気用のポンプです。ポンプ室内のガス接液部に潤滑油を一切使用しない完全ドライ仕様となっており、オイルの逆流（バックマイグレーション）による真空チャンバー内の汚染リスクがありません。そのため、高い清浄度が求められるクリーンな真空環境の構築に寄与します。
内部構造は、微小な隙間を保ちながら非接触で同期回転するロータを備えています。部品同士の機械的な摩擦が発生しない設計であるため、摩耗による金属粉の発生を抑えられます。これにより、長期間の連続運転においても排気性能の劣化が少なく、オーバーホールなどのメンテナンスサイクルを長く保つことが可能です。
主な用途として、半導体や電子部品の製造プロセス、真空蒸着・スパッタリングなどの成膜・コーティング装置、液晶ディスプレイの製造、さらには油分の混入を嫌う真空乾燥やガス置換プロセスなどに適しています。大気圧付近から高真空域まで安定した排気性能を発揮し、高い排気効率と優れた耐久性を両立した産業用モデルです。
【AIによる参考仕様】
・ポンプ方式：多段ルーツ型（ドライ真空ポンプ）
・吸気口フランジ：80A（JIS B 2290 VG80 相当）
・排気口フランジ：25A（JIS B 2290 VG25 相当）
・実効排気速度：約 1,500 L/min（90 m3/h）
・到達圧力：1.0 Pa 以下
・モータ定格出力：約 2.2 kW
・電源仕様：三相 200V（50/60Hz）
・冷却方式：水冷式
・所要冷却水流量：2.0 ～ 3.0 L/min
・冷却水圧力：0.1 ～ 0.3 MPa
・潤滑油（ギアボックス側）：フッ素系または合成潤滑油
・概略寸法：全長 約650 mm × 全幅 約300 mm × 全高 約350 mm
・概略質量：約 120 kg
（※上記は同シリーズ標準モデルのデータに基づく参考値です。中古機械につき、搭載モーターの年式や個体ごとの細かな仕様変更によって実際の数値が異なる場合があります。）