ターボ分子ポンプ（TMP）、ドライポンプ、クライオポンプ、キャノン製アライナー（PLA）の修理・整備・オーバーホール
ターボ分子ポンプ、コントローラー
(パワーサプライ)の修理、オーバーホール
対象メーカー
アルカテル (Alcatel)
アルバック (Ulvac)
ヴァリアン (Varian)
エドワーズ (Edwards)
大阪真空機器 (Osaka)
荏原製作所 (Ebara)
島津製作所 (Shimadzu)
三菱重工業 (Mitsubishi)
ファイファー (Pfeiffer)
ライボルト (Leybold)
ターボ分子ポンプの修理実績はこちら
ドライポンプ、コントローラーの
修理、オーバーホール
荏原製作所 EBARA
従来機 / Aシリーズ / AAシリーズ
エドワーズ Edwards
CDPシリーズ / DPシリーズ / iQDPシリーズ / iHシリーズ / iLシリーズ
樫山工業 Kashiyama
HCシリーズ / SDシリーズ / SDEシリーズ
ドライポンプの修理実績はこちら
クライオポンプ、クライオコンプレッサーの
修理、オーバーホール
クライオポンプの対象機種
Brook HELIX
OB-8F / OB-10F 他
ULVAC
U8 / U10 他
ANELVA
CAP-80MKⅡ 他
クライオコンプレッサーの対象機種
Brook HELIX
CTI8200 他
ULVAC
C10 / C30 他
ANELVA
CRC-420MKⅡ 他
クライオポンプ、クライオコンプレッサーの修理実績はこちら
キャノン（Canon）製マスクアライナーの
オーバーホール、設備立ち上げ
PLAシリーズ
PLA-501シリーズ、PLA-600シリーズ
ご要望の仕様をご相談ください。
ウェハー：
２～５インチ（501シリーズ）
３～６インチ（600シリーズ）
マスク ：
２．５～６インチ（501シリーズ）
４～７インチ（600シリーズ）
アライナーの紹介ページはこちら