真空ポンプの修理・オーバーホール(O/H)ターボ分子ポンプ(TMP)・ドライポンプ・クライオポンプ/クライオコンプレッサー
お預かりしたポンプを整備し、動作確認のうえ返却します。これまでにターボ分子ポンプ10社・ドライポンプ3社・クライオポンプ3社、計431型式を承りました。O/H済みの中古ポンプ(エドワーズのメーカーO/H品)も販売しています。中古の真空ポンプの在庫もあります。
- 標準的なO/Hで3週間〜2か月(TMPは1〜1.5か月)
- 費用は都度お見積り
- TMPは本体のみ・コントローラーのみも可
- クライオはHeリークチェックまで
ターボ分子ポンプ(TMP)・コントローラー
納期の目安 1〜1.5か月。本体のみ・コントローラーのみも対応
対応メーカーエドワーズ Edwards・大阪真空機器 Osaka・アルカテル Alcatel・荏原製作所 Ebara・三菱重工業 Mitsubishi・ライボルト Leybold・ファイファー Pfeiffer・島津製作所 Shimadzu・アルバック Ulvac・バリアン Varian
ドライポンプ・コントローラー
主要3メーカーのシリーズに対応
対応メーカー荏原製作所 Ebara(従来機・Aシリーズ・AAシリーズ)・エドワーズ Edwards(CDPシリーズ・DPシリーズ・iQDPシリーズ・iHシリーズ・iLシリーズ)・樫山工業 KASHIYAMA(HCシリーズ・SDシリーズ・SDEシリーズ)
クライオポンプ・クライオコンプレッサー
Heリークチェックまで対応
対応メーカーアルバック Ulvac・アネルバ ANELVA・CTI(Brooks/HELIX)
キヤノン製マスクアライナー(PLA-501/600シリーズ)のオーバーホール・立上げは マスクアライナーの整備・立上げ をご覧ください。
納期の目安
標準的なオーバーホールで3週間〜2か月です(部品供給や追加修理があるとさらにかかります)。機種別の目安は次のとおりです。
| ターボ分子ポンプ(TMP) | 1〜1.5か月 | 本体のみ・コントローラーのみも可 |
|---|---|---|
| ドライポンプ | 要相談 | 荏原・エドワーズ・樫山のシリーズ別 |
| クライオポンプ / コンプレッサー | 要相談 | Heリークチェック対応 |
| マスクアライナー(PLA) | 要相談 | 設備立ち上げを含む |
費用について
都度お見積りです。同じ型式でも、ベアリング・ローター・シール類など交換が要る消耗部品の範囲で費用が大きく変わるため、価格帯は掲載していません。
- 型式と症状(異音・エラー表示・停止の経緯)をお知らせいただければ、まず概算をご案内します
- 分解点検の後に正式なお見積りを出します。点検の結果、修理より中古のO/H済みポンプへの置き換えをおすすめすることもあります
- お見積り後にキャンセルされた場合の扱いは下の「よくある質問」をご覧ください
依頼の流れ
- 01
お問い合わせ
メーカー・型式・症状(異音・エラー表示・停止の経緯)をお知らせください。
- 02
お見積
型式と症状から概算をご案内。分解点検後に正式見積を出す場合があります。
- 03
お預かり・整備
発送または引取。整備後に動作確認を行います。
- 04
返却
確認結果とともに返却します。
対応実績のある型式
これまでにオーバーホール・修理を承った型式です。ここに無い型式や、銘板が読めない機器もご相談ください。
一覧に無い型式もご相談ください。 この型式を相談する
ターボ分子ポンプ(TMP)
エドワーズ Edwards 本体28型式・コントローラー11型式
本体
- STP-300
- STP-301
- STP-400
- STP-451
- STP-600
- STP-603
- STP-1000
- STP-1003
- STP-2000
- STP-A803C
- STP-A1303
- STP-A1603C
- STP-A2203C
- STP-A3503C
- STP-H200C
- STP-H300C
- STP-H301C
- STP-H600
- STP-H803C
- STP-H1000
- STP-H1301C
- STP-H1303C
- STP-H2000
- STP-H2001K1B
- STP-H2002
- STP-XH2603C
- STP-XA2703C
- STP-XH3203C
コントローラー
- SCU300C
- SCU400
- SCU800
- SCU1500
- SCU1600
- SCUH600C
- SCUH751
- SCUH1000C
- SCUH1303C
- SCUA2203C
- IXA455
大阪真空機器 Osaka 本体35型式・コントローラー14型式
本体
- TF160
- TH160
- TH520
- TH3603
- TG50
- TG220
- TG350
- TG370
- TG373
- TG374
- TG380
- TG390
- TG420
- TG550
- TG800
- TG815
- TG900
- TG1100
- TG1110
- TG1113
- TG1133
- TG1300
- TG1303
- TG2000
- TG2001
- TG2003
- TG2203
- TG2300
- TG2400
- TG3213
- TG3220
- TG3410
- TG3460
- TG5500
- TS443
コントローラー
- TC021
- 160
- 550
- 1000
- 1810
- 2403
- TD370
- 711
- 1111
- 2000
- 2001C
- 2300
- 3200
- 3211
アルカテル Alcatel 本体13型式・コントローラー7型式
本体
- ATP100
- ATP150
- ATP400
- ATP900
- ATP5400
- ATP5900
- ATH400M
- ATH1000M
- ATH1300M
- ATH1600M
- ATH2300M
- MDP5150M
- MDP5400M
コントローラー
- CFV100
- ACT100
- ACT250
- ACT300
- ACT600
- ACT1000
- ACT1300
荏原製作所 Ebara 本体9型式・コントローラー10型式
本体
- ET300WS
- ET300C
- ET300P
- ET300UZ
- ET450WS
- ET600WS
- ET800WS
- ET801H
- ET1600
コントローラー
- ET300W
- ET303W
- ET305W
- ET306WTF
- ET600WS
- ET606WTF
- ET803H
- ET806WTF
- ET1604H
- ET1606WTF
三菱重工業 Mitsubishi 本体15型式
本体
- PT50
- PT150
- PT300
- PT500
- PT1500
- FT700
- FT700W
- FT800W
- FT1001FW
- FT1200W
- FT1400W
- FT2200W
- FT2300W
- FT3300W
- FT3301W
ライボルト Leybold 本体34型式・コントローラー11型式
本体
- TMP35
- TMP50
- TMP150
- TMP151
- TMP361C
- TMP450
- TMP600
- TMP1000C
- TMP1100C
- TMP1500C
- TW250
- TW250S
- TW290
- TW300
- TW700
- TW701
- T1600
- MAG340
- MAG400
- MAG900
- MAG1200
- MAG2000C
- MAG2000CT
- MAGW830
- MAGW1300
- MAGW1500
- MAGW2000
- MAGW2010
- MAGW2012
- MAGW2200C
- MAGW2800
- MAGW3200C
- MAGW3200CT
- MAGW3200CHT
コントローラー
- NT10
- NT150
- NT151
- NT340M
- NT341M
- NT360
- NT361
- TD20
- TD400
- TD700
- MD2000
ファイファー Pfeiffer 本体28型式・コントローラー9型式
本体
- TMH063
- TMH064
- TMH071
- TMH260
- TMH261
- TMH262
- TMH520
- TMH521
- TMH1001
- TMH1600
- TMH1601
- TPH050
- TPH060
- TPH170
- TPH190
- TPH220
- TPH240
- TPH510
- TPH520M
- TPH521
- TPH1201
- TPH1501
- TPH1600
- TPH2101
- TPH2200
- TPH2201
- TPH2301
- TDP022
コントローラー
- TC100
- 750
- TCP121
- 380
- 600
- 5000
- TPG261
- TPS600
- DCU001
島津製作所 Shimadzu 本体18型式・コントローラー12型式
本体
- TMP202LM
- TMP203LM
- TMP303LM
- TMP403LM
- TMP803LM
- TMP1002LM
- TMP1003LM
- TMP1103LM
- TMP1704LM
- TMP2001LM
- TMP2003LM
- TMP2203LM
- TMP3001LM
- TMP3003LM
- TMP3203LM
- TMP3304LM
- TMP3403LM
- TMPH3603LMC
コントローラー
- EI202M
- 280
- 303M
- 1000K
- 1002M
- 1003M
- 3403MD
- EID1003M
- 1303
- 3603
- FTI3301W
- EIR04M
アルバック Ulvac 本体13型式・コントローラー8型式
本体
- UTM50
- UTM150
- UTM300
- UTM350FW
- UTM480FW
- UTM800FW
- UTM1001FW
- UTM1200FW
- UTM1400FW
- UTM2300FW
- UTM3301FW
- UTM3302FW
- UTM3303FW
コントローラー
- PTI150
- 300
- 1500
- FTI1400W
- 3300W
- 3301W
- 3302W
- 3303W
バリアン Varian 本体15型式・コントローラー10型式
本体
- TV70
- TV200
- TV250
- TV300
- TV301
- TV450
- TV550
- TV551
- TV701
- TV801
- TV1000
- TV1001
- TV1800
- TV2K
- TV3K
コントローラー
- V70
- 70HT
- 250
- 300
- 301
- 304AG
- 550
- 551
- 801
- 1800
ドライポンプ
荏原製作所 Ebara 36型式(従来機・Aシリーズ・AAシリーズ)
- 40×20(Manifold)
- 40×20(Gas Cooler)
- 50×20(Manifold)
- 50×20(Gas Cooler)
- 65×25(Manifold)
- 65×25(Gas Cooler)
- 80×25(Manifold)
- 80×25(Gas Cooler)
- 150×40(Manifold)
- 150×40(Gas Cooler)
- A07V
- A10S
- A25S
- A30W
- A70W
- A150W-T
- A150W-M
- AA10(N)
- AA20(N)
- AA30(N)
- AA40W(N)
- AA70W(N)
- AA100W(N)
- AA200W(N)
- AAS10N
- AAS20N
- AAS40WN
- AAS70WN
- AAS100WN
- AAS200WN
- ESR20N
- ESR80WN
- ESR100WN
- ESR200WN
- ESA25-D
- ESA70W
エドワーズ Edwards 12型式(CDPシリーズ・DPシリーズ・iQDPシリーズ・iHシリーズ・iLシリーズ)
- iH80
- iH80(Semi O/H)
- iH600
- iH600(Semi O/H)
- iH1000
- iH1000(Semi O/H)
- iL70
- iL600
- QDP40/80
- iQDP40/80
- EH/QMB250/500(オイル別途)
- EH/QMB1200(オイル別途)
樫山工業 KASHIYAMA 18型式(HCシリーズ・SDシリーズ・SDEシリーズ)
- SD60VⅡ
- SD90VⅢ
- SDE90/SDE120
- SDE90/SDE120(Semi O/H)
- SDE303A/SDE603A
- SDE303A/SDE603A(Semi O/H)
- SDE1200
- SDE1200(Semi O/H)
- SDE1203
- SDE1203(Semi O/H)
- MU100
- MU300
- MU303
- MU603
- MU1203
- Neodry15
- Neodry30
- Neodry36
クライオポンプ・クライオコンプレッサー
アルバック Ulvac ポンプ12型式・コンプレッサー5型式
クライオポンプ
- U8
- U10
- U12
- U16
- U16P
- 10PU
- U16H
- U18H
- U18HSP
- U20P
- U6H
- U8H
クライオコンプレッサー
- C10
- C30V
- C30MV
- C2W
- C2W303
アネルバ ANELVA ポンプ13型式・コンプレッサー6型式
クライオポンプ
- CAP-80MKⅡ
- CAP-121MKⅡ
- CAP-120MKⅡ
- P-081C
- P-082C
- P-083C
- P-120C
- P-121C
- CAP80
- CAP120
- CAP121
- P-080
- P-121
クライオコンプレッサー
- CRC-420MKⅡ
- CRC-870
- CRC-874
- CRC-420
- CRC-873
- P-421CA
CTI ポンプ21型式・コンプレッサー9型式
クライオポンプ
- CTI OB-8F
- CTI OB-10F
- CTI OB-8FE
- CTI OB-250F
- CTI TORR-100
- CTI TORR-8
- CTI TORR-10
- CT-7
- CT-8
- CT-8F
- CT-10
- OB-10
- CT-250F
- CT-250MMF
- CT-500
- OB-4
- OB-4F
- OB-6
- OB-8
- OB-400
- OB-8F
クライオコンプレッサー
- CTI 8200
- CTI 9600
- 8200
- 8300
- 8500
- 8510
- 9600
- SC
- SCW
よくある質問(修理・オーバーホール)
Q機器の校正や修理、オーバーホールは依頼できますか？
基本的に「校正」は行っておりませんが、修理・オーバーホール（O/H）については、真空ポンプなど一部の装置で対応可能です。
Q修理・オーバーホールが対応できる機種は何ですか？
主に以下の機種に対応可能です。
・ドライポンプ、クライオポンプ、クライオコンプレッサー
・ターボ分子ポンプ、ターボ分子コントローラー
・キヤノン製アライナー（PLAシリーズ）
※その他の機器についてはご相談ください。
Q修理・オーバーホールの納期はどれくらいですか？
機種や状態により異なりますが、標準的なオーバーホールで3週間～2か月程度です。部品供給や追加修理が必要な場合は、さらにお時間をいただくことがあります。
Q修理をキャンセルした場合、費用は発生しますか？
検査着手後のキャンセルの場合は、検査費用を申し受けます。あらかじめご了承ください。