中古パーティクルカウンター（CR）の在庫・価格

パーティクルカウンターの仕組み

パーティクルカウンター（空気中微粒子計測器）は、空気中に浮遊する目に見えない非常に小さな粒子（ホコリや塵など）の数と大きさを測定する精密機器です。クリーンルームで一般的に使用されているのは「光散乱方式」と呼ばれる原理を採用したモデルです。

光散乱方式の基本的な仕組みは、光源、試料空気の吸引部、光検出器で構成されています。まず、内部の吸引ポンプによって一定流量のクリーンルーム内の空気を本体内に取り込みます。取り込まれた空気は、レーザー光源から照射される光の領域（検出セル）を通過します。

このとき、空気中に粒子が存在すると、光が粒子に当たって全方位に飛び散る「光散乱」という現象が発生します。この散乱光をレンズで集め、受光素子（フォトダイオード）によって電気信号（パルス信号）に変換します。

粒子が大きいほど発生する散乱光は強くなり、電気信号の電圧が高くなります。また、粒子が通過した回数によってパルスの数が決まります。パーティクルカウンターは、信号の高さから粒子の「大きさ（粒径）」を、パルスの数から粒子の「個数」をリアルタイムで瞬時に算出しています。

クリーンルーム用パーティクルカウンターの特徴

クリーンルームで使用されるパーティクルカウンターには、高度な清浄度管理に対応するためのさまざまな特徴があります。

１つ目は、極小サイズの粒子を高感度に検出できる点です。一般的な環境用測定器とは異なり、0.1マイクロメートル（µm）や0.3マイクロメートルといった、人間の目では到底見えない微小な粒子まで正確に捉えることができます。

２つ目は、リアルタイムかつ連続での計測が可能な点です。空気の状態を常に監視できるため、作業員の移動や機器の動作によって清浄度が低下した際にも、即座に異常を検知してアラートを発することができます。

３つ目は、国際規格やJIS規格への適合性です。クリーンルームの清浄度クラス（ISO 14644-1やJIS B 9920など）の判定には、規定された精度と吸引流量を持つパーティクルカウンターの使用が必須とされています。

さらに、用途に応じて装置の形態を選べる柔軟性も特徴です。現場内を移動してポイントごとに測定する「ハンドヘルド型（小型携帯型）」や「ポータブル型」、工場全体に設置して中央監視システムと連動させる「定置型（多ポイント監視システム）」などがあり、管理体制に応じた最適な運用が可能です。

主な用途と活用分野

パーティクルカウンターは、微小なゴミの付着が製品不良や品質低下に直結するあらゆる産業分野のクリーンルームで活用されています。

半導体や液晶ディスプレイの製造工程では、わずかサブマイクロメートルの粒子が回路のショートや欠陥を引き起こします。そのため、製造ラインの定時点検や常時監視、装置内部の清浄度確認に不可欠な存在となっています。

医薬品や医療機器の製造現場（GMP管理下）では、製品への異物混入を防ぐとともに、無菌状態を維持するために使用されます。空気中の粒子数が一定基準を超えると、製品の出荷停止や回収といった重大なリスクにつながるため、厳格な品質管理基準に基づいて測定が行われます。

精密機械や光学レンズの組み立て工程においても、レンズへの粉塵付着による画像性能の低下や、駆動部への異物噛み込みを防ぐために広く導入されています。

そのほか、クリーンルームの定期的な性能評価（バリデーション）や、高性能フィルター（HEPA・ULPAフィルター）の目詰まり・破損を検知するリークテスト、清浄度が低下した際の原因究明など、設備の維持管理においても重要な役割を果たしています。