中古横型管状炉の取扱実績・入荷のご連絡

横型管状炉の仕組み

横型管状炉は、水平に配置された筒状の炉芯管（チューブ）とその周囲を囲む発熱体、断熱材から構成される加熱装置です。炉芯管の内部に試料を設置し、周囲から均一に熱を放射して加熱する構造を持っています。

炉芯管の材質には、最高使用温度や反応性に応じて石英、アルミナセラミックス、耐熱金属などが使い分けられます。管の両端にはシールフランジと呼ばれる密閉用のパーツが装着されており、配管を接続することで炉内を密閉状態にできます。これにより、ポンプによる真空引きや、窒素、アルゴン、水素といった各種ガスの導入が可能となります。

加熱源には抵抗加熱方式が広く採用されており、目的とする温度帯（一般的に1000℃〜1800℃程度）に合わせてカンタル線、炭化珪素（SiC）、二珪化モリブデン（MoSi2）などの発熱体が配置されます。

横型管状炉の特徴

横型管状炉には、他の加熱炉と比較して以下のような優れた特徴があります。

1. 優れた均熱性
構造上、管の中央付近に温度変化の少ない領域（均熱帯）を形成しやすいため、試料全体に対してムラの少ない均一な加熱が行えます。

2. 高精度な雰囲気制御と真空対応
容積が小さく密閉性に優れているため、少量のガス流量で効率よく炉内の雰囲気を置換できます。酸化を防ぐ不活性ガス雰囲気、還元反応を促す水素雰囲気、あるいは高真空下での熱処理など、目的に応じた環境を再現可能です。

3. 試料の設置と観察の容易さ
水平に配置された管内へ、ボートと呼ばれる耐熱容器に載せた試料を滑らせて導入できるため、取り扱いが容易です。また、透明な石英管を使用している場合は、加熱中の試料の変化を外部から直接観察することも可能です。

4. 連続処理への拡張性
管の両端が開口する構造を利用し、一方の端から試料を供給して逆側から取り出すような、連続的な熱処理ラインへ応用しやすい点も利点です。

横型管状炉の用途

雰囲気制御と高精度な温度管理が可能な横型管状炉は、基礎研究から先進産業の製造プロセスまで幅広く利用されています。

半導体・電子部品分野では、シリコンウェハの熱酸化膜形成や不純物拡散工程、各種薄膜を生成する化学気相成長（CVD）プロセスにおいて中心的な役割を果たします。また、カーボンナノチューブやグラフェンをはじめとするナノ材料の合成プロセスにも頻繁に用いられます。

材料・金属分野では、金属粉末やセラミックスの仮焼・焼結、金属材料の歪みを取り除く退火（焼きなまし）処理に活用されます。特に、高温で酸化しやすい金属材料を非酸化雰囲気下で安全に熱処理する用途に適しています。

エネルギー・電池分野では、リチウムイオン二次電池の正極材や負極材の合成・焼成、全固体電池向け新材料の開発プロセスに欠かせない設備となっています。

その他、大学や企業の研究開発において、新素材の相変容挙動の観察、高温下での化学反応解析、各種鉱物の熱分析など、多目的な実験装置として導入されています。