中古超高真空ポンプの在庫・価格

超高真空ポンプは、超高真空と呼ばれるきわめて低い圧力の領域を作り、保つための真空ポンプの分野である。この領域では容器の中に残る気体分子が非常に少なく、表面を汚さずに長い時間観察や処理ができるため、表面分析装置や電子顕微鏡の電子銃室、分子線エピタキシー(MBE)装置、加速器や放射光施設のビームラインなどで使われる。高真空ポンプで作る真空よりさらに一段低い圧力が求められるため、ポンプ単体の性能だけでなく、容器の材料や封じ方、加熱による脱ガスまで含めた系全体で考えるのがこの分野の特徴である。
この分野の中心はスパッタイオンポンプ(イオンポンプ)である。強い磁場の中で陽極と陰極の間に高電圧をかけて放電を起こし、気体をイオン化して陰極のチタンに打ち込む。打ち込まれたイオンでチタンがはじき出され、周囲の面に付いたチタンの膜が活性な気体を化学的に捕らえる。気体を内部に捕らえる溜め込み式で、可動部も油も無く振動も出ないため、電源を入れておくだけで清浄な真空を長く保てる。放電電流が圧力にほぼ比例するので、電流の値が圧力の目安にもなる。
イオンポンプと組み合わせてよく使われるのが、チタンサブリメーションポンプ(TSP)と非蒸発型ゲッター(NEG)ポンプである。どちらも水素など化学的に活性な気体を大きな速度で捕らえるが、希ガスやメタンはほとんど排気できない。そのため、希ガスも含めて排気できるイオンポンプと併用し、苦手な気体を補い合う構成が一般的である。チタンサブリメーションポンプはチタンのフィラメントに電流を流して昇華させ、壁面に新しい膜を作るたびに排気の力が戻る。NEGポンプは加熱して活性化した合金が気体を吸い込み、電源を切っても排気を続けられる。
超高真空ポンプは大気圧から動かすことができない。粗引きポンプとターボ分子ポンプで十分に圧力を下げてから起動し、真空容器全体を加熱するベーキングで内壁に付いた水分などを追い出して、はじめて超高真空に届く。接続には金属のガスケットで封じるICF(コンフラット)フランジが広く使われ、ポンプや配線もベーキングの温度に耐えることが求められる。
選び分けでは、排気速度と口径に加えて、残る気体の成分を考える。アルゴンなどの希ガスを扱う装置では、希ガスの排気が安定するように素子を工夫したノーブル型や三極型のイオンポンプが選ばれる。電子線を使う装置の近くでは、ポンプの磁石から漏れる磁場の影響にも気を配る。中古では、磁石とポンプ素子が揃っているか、型式に合う電源と高圧ケーブルがあるか、大気にさらされていた期間と前の使用環境が要点になる。