中古真空コンポーネント、キャパシタンスマノメータの販売、在庫紹介

キャパシタンスマノメータは、ダイヤフラム（受圧膜）の変位を電気容量（キャパシタンス）の変化として検出する真空計です。内部には金属やセラミックで作られた非常に薄いダイヤフラムと、それに対向して配置された固定電極が備わっています。ダイヤフラムの片側には測定対象のプロセスガスが導入され、反対側は基準となる高真空状態に保持された参照室となっています。

測定対象の圧力が変化すると、その圧力差によってダイヤフラムが微小にたわみます。ダイヤフラムと固定電極の間の距離が変わることで、両者間の平行板コンデンサとしての電気容量が変化します。電気容量は極板間の距離に反比例するため、この変化量を精密に電気信号に変換・処理することで、高精度な圧力値として出力します。

最大の原理的特徴は、気体の物理的な「力（単位面積あたりの荷重）」を直接測定している点です。熱伝導率や電離現象を利用する他の真空計とは異なり、気体の種類や分子構造に依存せず、真の全圧を測定することができます。

キャパシタンスマノメータには、他の真空計測機器と比較して多くの優れた特徴があります。

第一に、先述の通りガス種依存性がないことです。アルゴン、窒素、反応性ガス、有機溶剤の蒸気など、どのような気体であっても校正係数を変更することなく正確な圧力を測定できます。これにより、複数のガスを混合して使用する複雑なプロセスでも信頼性の高い計測が可能です。

第二に、極めて高い測定精度と再現性を備えている点です。フルスケールの0.1％から0.05％程度の高い精度を誇り、微小な圧力変化も高分解能で捉えることができます。そのため、他の真空計の校正を行う基準器としても広く利用されています。

第三に、耐蝕性と耐汚染性に優れている点です。ダイヤフラム素材にインコネルや耐食性の高いステンレス鋼、あるいはセラミックを用いることで、半導体製造などで使用される腐食性ガスや反応性ガスに対して高い耐久性を発揮します。

第四に、温度補償機能の充実が挙げられます。ダイヤフラムの熱膨張や測定環境の温度変化によるゼロ点のブレを防ぐため、センサー部分を一定の温度（45℃、100℃、160℃など）に加熱・保持する温調型モデルが存在します。温調型を選択することで、さらに高い長期安定性を獲得し、反応性ガスの結露や副生成物の付着を抑えることも可能です。

キャパシタンスマノメータは、その高い精度とガス種に依存しない信頼性から、高度な真空技術を必要とする多種多様な産業分野で欠かせない存在となっています。

代表的な用途の一つが半導体・液晶ディスプレイの製造プロセスです。化学気相成長（CVD）、原子層堆積（ALD）、ドライエッチング、スパッタリングといった工程では、反応室内の圧力を極めて精密に制御することが膜厚や膜質の均一性に直結します。腐食性ガスを使用する環境下でも、安定して正確な圧力を計測・制御するために標準的に使用されています。

また、真空機器の製造や校正の現場でも広く活用されています。測定値の信頼性の高さから、現場用真空計の精度を確かめるための基準機器（トランスファースタンダード）として設置されるケースが多く見られます。

さらに、医薬品や食品の真空凍結乾燥プロセス、蒸留装置、質量分析計などの分析機器、機能性薄膜のコーティング装置、さらには大学や公的研究機関における先端材料の研究開発など、精度の高い圧力管理が求められるあらゆる場面で導入されています。