中古機 キャパシタンスマノメータ Brooks製、型式CMX45のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、真空プロセスにおける圧力を高精度に測定するための静電容量式真空計（キャパシタンスマノメータ）です。センサー内部のダイアフラム（隔膜）の変位を静電容量の変化として検出し、ガスの種類や組成に依存しない正確な絶対圧測定が可能です。本機はセンサーユニットを45℃に加熱・保温する温度制御機能を搭載しています。これにより、周囲温度の変動による影響を最小限に抑えるとともに、プロセスガスや副生成物がセンサー内部に凝縮・堆積するのを防ぎ、長期的なゼロ点の安定性を維持します。

測定範囲（フルスケール）は133.3Pa（1 Torr）であり、半導体製造、FPD製造、真空蒸着、プラズマエッチングなど、微小な圧力制御が求められる各種真空プロセスにおいて不可欠なコンポーネントです。接ガス部にはインコネル（Inconel）などの耐食性に優れた合金が採用されており、腐食性ガスを使用する過酷な環境にも対応します。

【AIによる参考仕様】
・測定原理: 静電容量式絶対圧測定
・フルスケール測定範囲 (Range): 133.3 Pa (1 Torr)
・センサー動作温度: 45℃（温度制御内蔵）
・測定精度: 読み値の±0.12% または ±0.15%（標準仕様）
・出力信号: 0～10 VDC（アナログリニア出力）
・接ガス部材質: インコネル（Inconel）合金
・許容過負荷圧力（耐圧）: 約310 kPa (45 psia)
・ゼロ点温度係数: 0.002% F.S./℃
・スパン温度係数: 0.02% Reading/℃
・ウォームアップ時間: 約2時間（精度安定のための推奨時間）
・入力電源: ±15 VDC または +24 VDC
・継手形状（代表例）: 1/2インチVCRメス、またはNW16 KF等の真空フランジ
・適合ガス: 非腐食性および腐食性ガス（接ガス部材質に適合するもの）

※上記は同シリーズの一般的な仕様データです。実際の中古品の仕様は、インターフェースや継手のオプション構成により一部異なる場合があります。