中古機 キャパシタンスマノメータ MKS製、型式622A12TAEのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、周囲温度で作動する絶対圧測定用の静電容量式真空計（キャパシタンスマノメータ）です。センサ部のダイヤフラムおよび接ガス部には耐食性に優れたインコネル®（Inconel®）が採用されており、測定対象となるガスの種類や組成に依存せず、腐食性ガスなどの過酷な環境下でも高精度かつ安定した圧力測定が可能です。

当該型式のフルスケール測定レンジは100 Torrに設定されており、半導体製造プロセスをはじめ、各種真空チャンバーの圧力制御やモニタリングに適しています。内部にヒーターを持たない非加熱（周囲温度動作）タイプであるため、ウォームアップ時間が短く、消費電力が抑えられる点が特徴です。

配管の接続には外径1/2インチのストレートチューブを採用し、電気接続用には15ピンのD-subコネクタが搭載されています。アナログ出力は標準的な0～10 VDCに対応しているため、既存のPLCや制御システムへの組み込みが容易に行えます。

【AIによる参考仕様】
・測定方式：静電容量式（絶対圧）
・フルスケールレンジ：100 Torr
・指示精度：指示値の±0.15%
・出力信号：0 ～ 10 VDC（アナログ出力）
・必要電源：±15 VDC (±5%)、最大35 mA
・動作周囲温度範囲：0 ～ 50 ℃
・ゼロ点温度係数：0.005% F.S. / ℃
・スパン温度係数：0.04% of Reading / ℃
・接ガス部材質：インコネル®（Inconel®）
・配管接続形状：外径1/2インチ ストレートチューブ
・電気コネクタ：15ピン D-sub コネクタ
・許容過耐圧：45 psia（約310 kPa）