中古真空コンポーネント、マスフローチェッカーの販売、在庫紹介

マスフローチェッカーは、半導体製造や各種工業プロセスで広く使用されているマスフローコントローラ（MFC）やマスフローメーター（MFM）の流量精度を、現場で迅速に点検・校正するためのポータブルな基準計測器です。ガスの質量流量を正確に測定・比較できるため、製品品質の維持や設備の安定稼働に欠かせない存在となっています。

マスフローチェッカーの主な特徴

マスフローチェッカーの最大の特徴は、高い測定精度と優れた携帯性を兼ね備えている点です。従来、流量計の正確な校正を行うには機器を装置から取り外し、専門機関や工場へ送る必要がありました。しかし、マスフローチェッカーを使用すれば、現場の装置に取り付けたまま短時間で流量精度を確認できます。

また、国家標準等へのトレーサビリティが確保されており、点検結果の信頼性が高いことも大きな特徴です。さらに、複数のガス種や温度・圧力の標準状態換算に対応し、データロギング機能によってパソコンでの自動判定やレポート作成を効率的に行えるモデルも多く普及しています。

マスフローチェッカーの仕組み

マスフローチェッカーの内部には、基準となる高精度な質量流量センサーが搭載されています。点検時は、被測定対象であるMFCやMFMとマスフローチェッカーをガス配管上で直列に接続します。

同じガスを両者に流すことで、被測定機器の制御・表示流量とマスフローチェッカーの基準流量をリアルタイムで比較し、誤差を測定・算出します。

質量流量の計測方式には、主に熱式と層流差圧式があります。
熱式は、流路内のヒーターと温度センサーにより、ガスが流れる際の熱移動量から質量流量を直接算出する仕組みです。周囲の温度や圧力変動の影響を受けにくい利点があります。
層流差圧式は、流路内の層流素子で発生する微小な差圧を測定し、温度・圧力補正を行って流量を算出します。応答速度が速く、リアルタイム性に優れるのが特徴です。

最新のチェッカーは、これらのセンサー出力に加えて温度・圧力補正を高度に行うことで、常に正確な基準値を提供します。

マスフローチェッカーの用途

マスフローチェッカーは、精密なガス流量管理が不可欠なさまざまな現場で使われています。

代表的な用途は半導体・液晶製造装置の点検です。成膜やエッチング工程では微量ガスの精密制御が製品の歩留まりを左右するため、定期点検や異常発生時の原因究明に必須となっています。

また、分析機器や医療機器の保守・品質管理にも広く利用されます。ガスクロマトグラフのキャリアガス流量点検や、人工呼吸器などの高度管理医療機器の出力確認などに活用されます。

さらに、各種プラントの現場校正、大学・企業の研究設備における流量計の定期比較、流量計メーカーのサービス保守など、ガスの正確な測定が求められる幅広い分野で活躍しています。