中古機 温度モニター アネルバ　ANELVA製、型式MCT-110のご紹介

【AIによる装置概要】
本機は、半導体製造装置や研究開発用の真空成膜システムにおいて、真空チャンバー内部や基板加熱ヒーターなどの温度を正確に測定・監視するための専用温度モニターです。スパッタリングや真空蒸着といったプロセスでは、基板温度の変動が薄膜の結晶性や密着性に直接的な影響を与えるため、高精度かつリアルタイムな温度管理が求められます。

真空フィードスルーを経由して接続された熱電対などの温度センサーから微弱な信号を受け取り、視認性の高いパネルにデジタル表示します。プラズマプロセスや高周波電源を使用する真空装置特有の電気的ノイズ環境下でも、安定した信号処理が行えるよう設計されているのが特徴です。

また、外部の成膜コントローラーやPLC（プログラマブルロジックコントローラ）との連携を想定したインターフェースを搭載しています。連続的な温度記録のためのアナログ信号出力に加え、上限・下限の温度異常を検知するアラーム接点出力を備えており、プロセスの異常時にインターロックを確実に行動させるための安全機構としても機能します。生産プロセスの再現性向上と歩留まりの維持に不可欠な計測ユニットです。

【AIによる参考仕様】
・測定対象：真空チャンバー内、プロセス基板、加熱ヒーター等の温度
・対応センサー：熱電対（Kタイプ、Rタイプ等に切替対応）
・測定および表示範囲：0℃ ～ 1200℃（接続するセンサーの規格に依存）
・表示分解能：0.1℃ または 1℃
・測定精度：±(0.3% of F.S. + 1 digit) 以内
・サンプリング周期：約0.5秒
・アナログデータ出力：0 ～ 10V DC （外部レコーダーおよび制御機器への温度伝送用）
・アラーム出力：リレー接点出力（上限および下限の独立設定が可能、インターロック構築用）
・電源電圧：AC100V ±10%（50/60Hz）
・消費電力：約15W ～ 20W
・使用周囲環境：温度 0℃ ～ 40℃、湿度 80%RH以下（結露なきこと）
・ノイズ対策：高周波（RF）およびプラズマ環境下での使用を想定したフィルタリング回路内蔵