中古機 マッチングボックス 東京ハイパワー製、型式HC-2000Sのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造装置や真空プラズマプロセス（スパッタリング、CVD、ドライエッチングなど）において、高周波（RF）電源からプラズマチャンバーへ電力を効率よく伝達するためのインピーダンス整合ユニット（オートマッチングコントローラー）です。プラズマの着火時やプロセスの進行に伴い、チャンバー内のインピーダンスは動的に変動します。本装置は、進行波と反射波の位相および振幅のズレを瞬時に検出し、内部または外部ネットワークの可変コンデンサ（バリコン）をモーター駆動によって自動調整します。これにより、電源側への反射電力を最小限に抑え、常に最適な50Ωのインピーダンス整合を維持します。

最大2000W（2kW）クラスの高周波電力の制御に対応しており、プロセスの安定化とRF電源本体の保護に直結する重要な役割を担います。フロントパネルの操作による自動（Auto）および手動（Manual）モードの切り替えにより、プロセスに応じた細かなチューニングが可能なほか、外部システムからのリモート制御にも対応しています。長時間の連続稼働が要求される産業分野において、プラズマの再現性確保と歩留まり向上に貢献する設計となっています。

【AIによる参考仕様】
・適用周波数: 13.56 MHz （産業用ISMバンド標準）
・最大許容入力RF電力: 2000 W （2 kW）
・入力インピーダンス: 50 Ω （同軸ケーブル接続）
・制御方式: 位相・振幅誤差信号の検出による自動/手動モータードライブ制御
・動作モード: Auto（自動） / Manual（手動） / Remote（外部リモート制御）
・入力電源電圧: AC 100V〜120V または 200V〜240V（単相）
・冷却方式: 強制空冷方式（冷却ファン内蔵）
・インターフェース機能: 進行波/反射波アナログモニター出力、インターロック（異常検出）、プリセットポジション設定入出力
・筐体形状: EIA規格準拠ラックマウント対応（またはシステム組み込み用ユニット）

※上記は同クラス製品における標準的な仕様です。実際の接続コネクタ形状や通信インターフェースの詳細、対応するマッチングネットワーク（MBシリーズ等）の組み合わせは、搭載されていたプロセス装置の仕様により一部異なる場合があります。