中古機 電磁波シールド INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING製、型式MK3のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、電子顕微鏡（SEM・TEM）、集束イオンビーム装置（FIB）、電子ビーム露光装置などの荷電粒子線を利用する精密機器において、外部からの環境磁場変動によるビームの偏向や画像の歪みを防ぐためのアクティブ型磁場補償システムです。周辺の送電線、空調設備、エレベーター、鉄道の移動などから発生する低周波の電磁波（AC磁場およびDC磁場変動）をリアルタイムで低減します。

動作原理として、対象となる空間に配置した高感度な3軸磁気センサーが環境磁場の変動を常時検知します。その信号をコントローラーが瞬時に解析し、装置周囲に設置した補償用コイル（ケーブル）へ逆位相の電流を出力することで、対象エリア内の磁場変動を電気的に打ち消します。

金属板を用いたパッシブなシールドルームなどの大掛かりな設備改修を行わずに、既存の環境へ後付けで高い磁場シールド効果を得られる点が特徴です。広帯域のフィードバック制御により、直流（DC）から交流（AC）帯域まで、微小な磁場変動に対して安定した磁場環境を維持するための環境対策機器として使用されます。

【AIによる参考仕様】
・制御軸数: 3軸独立フィードバック制御（X, Y, Z方向）
・補償周波数帯域: DC（0 Hz）〜 1000 Hz
・磁場減衰効果（キャンセレーション率）:
　- DC帯域（0.01 Hz 〜 1 Hz）: 約 40 dB（1/100に減衰）
　- AC帯域（50 Hz / 60 Hz）: 約 40 dB 以上
・ダイナミックレンジ（最大補償磁場）: ± 50 μT （500 mG）
・磁気センサータイプ: 3軸直交フラックスゲートセンサー
・センサー分解能: 0.1 nT
・出力アンプ: X, Y, Zの3チャンネル独立電流出力
・構成要素: メインコントローラー、3軸磁気センサー、補償用コイルケーブル
・外部インターフェース: リモート監視・制御用通信ポート（RS-232C等）