中古機 エキシマパワーメータ コヒレントジャパン製、型式0527L05のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、エキシマレーザーをはじめとする紫外（UV）領域のレーザー出力測定に適したパワーメータです。高ピークパワーかつ短パルスの特性を持つエキシマレーザー（波長193nmのArF、248nmのKrF、308nmのXeClなど）の平均パワーやパルスエネルギーを安定して計測するため、センサー受光面には紫外線に対する耐損傷閾値の高い特殊コーティングや吸収体が採用されています。

半導体リソグラフィ、FPD（フラットパネルディスプレイ）のアニール処理、微細穴あけ加工、あるいは医療用機器など、エキシマレーザーを光源として使用する産業用・研究用プロセスの保守・出力管理において、信頼性の高いデータを提供します。パルスごとの激しいエネルギー変動や、紫外線特有の光学ダメージによる劣化を抑える設計となっており、中長期にわたる高精度な計測維持が可能です。

日常的なレーザー出力の監視や定期点検に使用することで、発振器内部のガス交換時期の予測や、伝送光学系（ミラーやレンズ）の劣化状態を的確に把握するための品質管理用計測器として機能します。

【AIによる参考仕様】
・主な測定対象波長: 190 nm ～ 400 nm 帯（エキシマ波長域を中心に広帯域対応）
・代表的な対応レーザー: ArF (193 nm)、KrF (248 nm)、XeCl (308 nm)、XeF (351 nm)、および UV-YAG (266 nm / 355 nm)
・測定パワーレンジ: 10 mW ～ 50 W（組み合わせるセンサーヘッドや減衰器の有無により変動）
・有効受光径（アパーチャ）: 約 Φ10 mm ～ Φ50 mm
・最大許容エネルギー密度（損傷閾値）: 約 0.5 J/cm² ～ 1.0 J/cm² （ナノ秒パルス・UV波長において）
・応答時間: 約 1 ～ 3 秒（サーマルセンサーの場合）
・冷却方式: 自然空冷（ヒートシンク構造）
・接続・出力インターフェース: メーカー専用コネクタによる対応ディスプレイモジュールへの接続、またはアナログ/デジタル出力

※上記は同メーカーのエキシマ・UVレーザー用計測器における代表的な参考仕様です。実際の測定下限・上限値やアパーチャ径は、組み合わせるセンサーヘッドの口径およびコンソール（表示器）のソフトウェアバージョンによって異なる場合がありますので、運用環境に応じた実機確認を推奨します。