中古 ヘリウムリークディテクター
メーカー名
アネルバ ANELVA
型式A-230M-LD
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
1,200,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、真空装置や配管ライン、密閉部品などの微小な漏れ（リーク）を高感度で検出・測定するための質量分析型ヘリウムリークディテクターです。ヘリウムガスをトレーサーとして使用し、内蔵された磁界偏向型の質量分析管によって質量数4（He）を選択的に検出します。内部には分析管を高真空に維持するためのターボ分子ポンプと、テストポートの初期排気および背圧維持のためのロータリーポンプ（油回転真空ポンプ）を搭載しており、外部ポンプを必要とせず単体で排気からリークテストまでの一連の工程を実行できます。
内部の制御システムにより、起動時のオートキャリブレーション機能やバックグラウンドの自動補正（オートゼロ）機能を備えており、周囲環境や残留ガスの影響を低減した再現性の高い測定が可能です。また、テストポートの真空度を監視し、粗引き排気から測定モード（グロスリークからファインリーク）へと自動的に内部バルブを切り替えるシーケンス制御を採用しています。これにより、測定対象物の大小に関わらず操作手順が簡略化され、半導体製造装置の立ち上げ、真空部品の品質検査、研究開発における定期メンテナンスなど、幅広い用途において客観的かつ定量的な漏れ検査を実現します。
【AIによる参考仕様】
・測定方式: 磁界偏向型質量分析方式
・検出対象ガス: ヘリウム（He: 質量数4）
・最小可検リーク量: 5.0 × 10^-12 Pa･m^3/s（真空法）
・測定表示範囲: 10^-12 ～ 10^-4 Pa･m^3/s レンジ
・主排気ポンプ: ターボ分子ポンプ（排気速度 約50 L/s クラス）
・補助・粗引きポンプ: 油回転真空ポンプ
・ウォームアップ時間（起動からReadyまで）: 約3～5分以内
・テストポート接続口径: NW25（KF25）クイックカップリングフランジ
・オート機能: オートキャリブレーション、オートゼロ（バックグラウンド補正）、オートレンジ切り替え
・外部インターフェース: アナログ出力端子、RS-232C通信ポート
・電源仕様: 単相 AC100V 50/60Hz
（※上記は同系シリーズの標準的なデータに基づく参考仕様です。中古機器のため、実際の搭載ポンプ容量やオプション構成によって一部数値が異なる場合があります。）
本装置は、真空装置や配管ライン、密閉部品などの微小な漏れ（リーク）を高感度で検出・測定するための質量分析型ヘリウムリークディテクターです。ヘリウムガスをトレーサーとして使用し、内蔵された磁界偏向型の質量分析管によって質量数4（He）を選択的に検出します。内部には分析管を高真空に維持するためのターボ分子ポンプと、テストポートの初期排気および背圧維持のためのロータリーポンプ（油回転真空ポンプ）を搭載しており、外部ポンプを必要とせず単体で排気からリークテストまでの一連の工程を実行できます。
内部の制御システムにより、起動時のオートキャリブレーション機能やバックグラウンドの自動補正（オートゼロ）機能を備えており、周囲環境や残留ガスの影響を低減した再現性の高い測定が可能です。また、テストポートの真空度を監視し、粗引き排気から測定モード（グロスリークからファインリーク）へと自動的に内部バルブを切り替えるシーケンス制御を採用しています。これにより、測定対象物の大小に関わらず操作手順が簡略化され、半導体製造装置の立ち上げ、真空部品の品質検査、研究開発における定期メンテナンスなど、幅広い用途において客観的かつ定量的な漏れ検査を実現します。
【AIによる参考仕様】
・測定方式: 磁界偏向型質量分析方式
・検出対象ガス: ヘリウム（He: 質量数4）
・最小可検リーク量: 5.0 × 10^-12 Pa･m^3/s（真空法）
・測定表示範囲: 10^-12 ～ 10^-4 Pa･m^3/s レンジ
・主排気ポンプ: ターボ分子ポンプ（排気速度 約50 L/s クラス）
・補助・粗引きポンプ: 油回転真空ポンプ
・ウォームアップ時間（起動からReadyまで）: 約3～5分以内
・テストポート接続口径: NW25（KF25）クイックカップリングフランジ
・オート機能: オートキャリブレーション、オートゼロ（バックグラウンド補正）、オートレンジ切り替え
・外部インターフェース: アナログ出力端子、RS-232C通信ポート
・電源仕様: 単相 AC100V 50/60Hz
（※上記は同系シリーズの標準的なデータに基づく参考仕様です。中古機器のため、実際の搭載ポンプ容量やオプション構成によって一部数値が異なる場合があります。）