中古機 表面形状測定顕微鏡 キーエンス　Keyence製、型式VK-9500/9510のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、バイオレットレーザーを利用した非接触式の超深度形状測定顕微鏡です。波長408nmの短波長半導体レーザーを光源に採用することで、従来の赤色レーザー搭載機と比較してXY方向の面内分解能が大幅に向上しています。測定原理としてピンホール共焦点光学系（コンフォーカル光学系）を採用しており、対象物の材質や反射率（金属、樹脂、セラミックスなど）を問わず、ナノメートルオーダーでの高精度な3D形状測定および表面粗さ測定が可能です。

Z軸方向の表示分解能は0.01µmとなっており、微細な凹凸、段差、摩耗量などを正確に数値化します。また、高解像度のカラーCCDカメラを内蔵しており、対象物のリアルな色情報を取得しながら、レーザーによって得られた3D形状データとカラー画像を重ね合わせた解析が可能です。これにより、非接触でありながら走査型電子顕微鏡（SEM）のような深い被写界深度と、触針式粗さ計の定量性を兼ね備えた詳細な表面解析を実現します。研究開発や品質保証における微細部品、半導体、新素材などの寸法・形状評価に広く活用される測定システムです。

【AIによる参考仕様】
測定原理：ピンホール共焦点光学系
レーザー光源：バイオレット半導体レーザー (波長 408 nm)
レーザー最大出力：0.9 mW
レーザー受光素子：光電子増倍管 (フォトマルチプライヤ)
カラー画像受像素子：1/3インチ カラーCCDイメージセンサ
Z軸表示分解能：0.01 µm
XY軸表示分解能：0.01 µm
Z軸測定範囲：7 mm
XY軸走査方式：X-Y光走査機構
表示モード：3D画像、カラー画像、レーザー強度画像、高さカラー画像
測定対象材質：金属、樹脂、セラミックス、ガラス（不透明・半透明・透明体）など
※測定視野や動作距離（WD）は、装着される対物レンズの倍率に依存します。