中古 微細加工装置
メーカー名
ピーエムティー（PMT）
型式Micro MC-2
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
1,200,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、設置スペースを極力抑えた超コンパクトな筐体設計でありながら、ナノメートルオーダーの分解能での位置決めを実現する高精度な微細加工機です。各軸の駆動機構にはコアレスリニアモータと高分解能リニアスケールを採用しており、ボールねじ駆動に起因するバックラッシや摩擦抵抗を排除することで、滑らかで応答性の高いフルクローズド制御を可能にしています。
主軸部には高速回転に対応するエアスピンドルを搭載しており、最大80,000 min-1の高回転仕様により、小径エンドミルなどの微小工具にかかる切削抵抗を低減した安定した微細切削に対応します。熱変位を抑制するため、主軸やリニアモータの熱源に対して適切な冷却機構（水冷チラー等）を備えるとともに、高剛性の構造ベースを採用することで、長時間の連続運転時でも寸法変動を最小限に抑え、加工精度を維持します。
また、省スペース設計でありながら自動工具交換装置（ATC）を搭載しており、複数工程にまたがる複雑な微細形状の連続加工および自動化に対応します。半導体検査部品、医療用マイクロパーツ、光学系精密金型、マイクロ流路などの硬脆材料や金属部品において、厳しい公差と優れた面品位が求められる微細加工プロセスに適した構造を備えています。
【AIによる参考仕様】
制御軸：3軸（X, Y, Z）
X軸ストローク：150 mm
Y軸ストローク：150 mm
Z軸ストローク：100 mm
主軸回転数：最大 80,000 min-1
主軸軸受方式：静圧空気軸受（エアスピンドル）
駆動方式：リニアモータ駆動（全軸）
位置検出方式：リニアスケール（フルクローズド制御）
最小設定分解能：0.01 μm（10 nm）
位置決め精度：±0.5 μm
繰り返し位置決め精度：±0.3 μm
自動工具交換装置（ATC）収納本数：10本
機械本体寸法：幅650 mm × 奥行850 mm × 高さ1,400 mm
機械本体重量：約450 kg
電源仕様：三相 AC200V / 15A
所要空気源：0.5 MPa以上
本装置は、設置スペースを極力抑えた超コンパクトな筐体設計でありながら、ナノメートルオーダーの分解能での位置決めを実現する高精度な微細加工機です。各軸の駆動機構にはコアレスリニアモータと高分解能リニアスケールを採用しており、ボールねじ駆動に起因するバックラッシや摩擦抵抗を排除することで、滑らかで応答性の高いフルクローズド制御を可能にしています。
主軸部には高速回転に対応するエアスピンドルを搭載しており、最大80,000 min-1の高回転仕様により、小径エンドミルなどの微小工具にかかる切削抵抗を低減した安定した微細切削に対応します。熱変位を抑制するため、主軸やリニアモータの熱源に対して適切な冷却機構（水冷チラー等）を備えるとともに、高剛性の構造ベースを採用することで、長時間の連続運転時でも寸法変動を最小限に抑え、加工精度を維持します。
また、省スペース設計でありながら自動工具交換装置（ATC）を搭載しており、複数工程にまたがる複雑な微細形状の連続加工および自動化に対応します。半導体検査部品、医療用マイクロパーツ、光学系精密金型、マイクロ流路などの硬脆材料や金属部品において、厳しい公差と優れた面品位が求められる微細加工プロセスに適した構造を備えています。
【AIによる参考仕様】
制御軸：3軸（X, Y, Z）
X軸ストローク：150 mm
Y軸ストローク：150 mm
Z軸ストローク：100 mm
主軸回転数：最大 80,000 min-1
主軸軸受方式：静圧空気軸受（エアスピンドル）
駆動方式：リニアモータ駆動（全軸）
位置検出方式：リニアスケール（フルクローズド制御）
最小設定分解能：0.01 μm（10 nm）
位置決め精度：±0.5 μm
繰り返し位置決め精度：±0.3 μm
自動工具交換装置（ATC）収納本数：10本
機械本体寸法：幅650 mm × 奥行850 mm × 高さ1,400 mm
機械本体重量：約450 kg
電源仕様：三相 AC200V / 15A
所要空気源：0.5 MPa以上