中古機 磁場キャンセリング装置 INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING製、型式MK3のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、電子顕微鏡（SEM、TEM）や電子線描画装置（EBL）、集束イオンビーム（FIB）などのナノスケール精密機器に対し、外部環境からの磁場変動をリアルタイムで打ち消すための3軸アクティブ磁場キャンセリングシステムです。

周囲の環境磁場を高感度な3軸フラックスゲートセンサーで検知し、コントローラーの演算を経て、X・Y・Zの3軸方向に配置されたキャンセルコイルへ逆位相の電流を出力します。これにより、対象空間内に発生する磁場ノイズと逆の磁場を人工的に作り出し、環境磁場の変動を動的に相殺します。

エレベーターや周辺車両の移動に伴う直流（DC）の緩やかな磁場変動から、空調設備や電源設備などに起因する商用電源周波数（50Hz/60Hz）の交流（AC）ノイズまで、DC〜1000Hzの広帯域にわたり対応します。とくに商用電源周波数帯においては最大約40dB（1/100）の減衰比を発揮し、電子ビームの軌道への干渉を最小限に抑えることで、画像の歪みや解像度低下を防ぐ客観的な環境改善効果を提供します。

【AIによる参考仕様】
制御軸数：3軸（X, Y, Z方向）
補正対象磁場：直流（DC）および交流（AC）
対応周波数帯域：DC 〜 1000 Hz
磁場センサー：高感度3軸フラックスゲートセンサー
最大減衰比（キャンセル比）：約 40 dB（50Hz / 60Hz帯域において約100倍の減衰）
補正ダイナミックレンジ：最大 ±10 µT（※組み合わされるコイルの仕様および環境に依存）
制御方式：フィードバック制御（クローズドループ方式）
出力チャンネル数：3チャンネル（X, Y, Z各軸独立駆動）
フロントパネル機能：各軸の磁場レベルモニタリング、補正のオン/オフ切替
想定される主要ユニット：コントローラー本体、センサーユニット（※キャンセルコイルの有無や形状は個別の出品構成に依存します）
適用される主な機器：走査型/透過型電子顕微鏡（SEM/TEM）、FIB、各種電子線応用装置