中古機 Qマス アルバック　Ulvac製、型式CGM-052のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、真空チャンバー内の残留ガス分析や各種プロセスガスのモニタリング用途で使用される四重極質量分析計です。測定質量範囲は1〜50 amuに対応しており、水素、ヘリウム、水、窒素、酸素、アルゴン、二酸化炭素など、真空装置において管理が重要となる主要な低質量ガスの分圧を精密に測定できます。

検出器にはファラデーカップ（FC）と二次電子増倍管（EM）の両方を搭載しています。EM使用時の最小可検分圧は5×10^-12 Paと非常に高感度であり、超高真空領域における微量なアウトガス成分の検出に対応します。一方で、FC使用時は最大1×10^-2 Paの比較的高い圧力環境下でも動作が可能であり、スパッタリング等のプロセス中におけるガス分圧のリアルタイムモニタリングにも適応します。

イオン源は開放型を採用しており、フィラメントはイットリアコートイリジウムを用いたデュアルフィラメント構成です。本機は、このフィラメント部を新品に交換した状態で提供されます。

【AIによる参考仕様】
測定質量範囲：1〜50 amu
検出器：ファラデーカップ（FC） / 二次電子増倍管（EM）
最小可検分圧（EM使用時）：5×10^-12 Pa
最小可検分圧（FC使用時）：5×10^-10 Pa
最大動作圧力：1×10^-2 Pa
分解能：ΔM = 0.5 ± 0.1 amu（半値幅）
イオン源：開放型熱電子衝撃イオン源
フィラメント構成：デュアルフィラメント（※新品交換済み）
フィラメント材質：イットリアコートイリジウム（Y2O3/Ir）
最大ベーキング温度：250 ℃（センサ部、ケーブル取り外し時）
通信インターフェース：RS-232C / RS-485