中古機 光学ステージ（自動アライメント3軸） THORLABS製、型式NanoMax 300のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、ナノメートルオーダーの精密な位置決めと自動アライメントに特化した3軸（X、Y、Z）フレクシャーステージです。ガイド機構に並列フレクシャーヒンジ（板ばね）構造を採用することで、従来のベアリングステージで発生する摩擦やバックラッシュ、スティクションを完全に排除し、極めて滑らかで再現性の高い可動を実現しています。

自動アクチュエータ（ステッピングモーター等）による粗動と、ピエゾアクチュエータによる微動を組み合わせることで、広範囲の移動とナノスケールの微細な位置決めを両立しています。各軸の粗動ストロークは4 mmを確保しており、ピエゾアクチュエータによる微動ストロークは20 µmとなります。

クローズドループ制御（歪みゲージセンサー内蔵）においては、5 nmの極めて高い分解能を誇り、光ファイバーの調芯、フォトニクスデバイスの高精度アライメント、導波路の位置合わせなど、シビアな光学実験や検査・実装工程において高いパフォーマンスを発揮します。また、各軸間のクロストーク（ロール、ピッチ、ヨー）は全ストロークにわたり20 µrad以下に抑えられており、多軸駆動時でも位置ずれを最小限に留める堅牢な構造（最大耐荷重1 kg）を備えています。

【AIによる参考仕様】
軸数：3軸（X、Y、Z軸）
ガイド機構：並列フレクシャー機構
粗動移動量（各軸）：4 mm
微動移動量（ピエゾ駆動時）：20 µm
ピエゾ分解能（クローズドループ時）：5 nm
ピエゾ分解能（オープンループ時）：1 nm
クロストーク（ロール / ピッチ / ヨー）：20 µrad未満（全移動範囲において）
最大耐荷重：1.0 kg
直角度：2 mrad未満
熱安定性（ドリフト）：約 1 µm/℃