中古機 膜厚計 アルバック　Ulvac製、型式CRTM-6000Gのご紹介

【AIによる装置概要】
真空蒸着やスパッタリングなどの真空成膜プロセスにおいて、リアルタイムで膜厚および成膜レートを高精度に測定・制御するための水晶振動子式モニターです。水晶振動子に成膜材料が付着する際の質量変化を周波数変化として捉え、ナノレベルの精度で膜厚を算出します。

本機は5MHzおよび6MHzの水晶振動子に両対応しており、用途やプロセス環境に応じた運用が可能です。測定分解能は0.012Å（密度1.0g/cm³設定時）、サンプリング時間は125ms（0.125秒）となっており、急激なレート変動に対しても遅延の少ない高応答な測定を実現します。

センサー入力は標準で2チャンネルに対応しているため、複数の蒸発源を扱うプロセスや、センサー寿命到達時の予備センサーへの即時切り替えを必要とする長時間の連続成膜プロセスにも適用できます。本体前面のデジタルディスプレイにより、膜厚と成膜レートを同時にモニタリング可能です。また、RS-232C通信機能やI/O（リレー接点等）を搭載しており、外部のPLCやPCと連動させた自動成膜システムの構築や、成膜完了時の自動シャッター制御などに活用されます。研究開発用途から量産ラインまで、幅広い真空装置への組み込みを想定した設計となっています。

【AIによる参考仕様】
測定方式：水晶振動子式（周波数計測方式）
対応水晶振動子周波数：5MHz / 6MHz 共用
センサー入力チャンネル数：2チャンネル
サンプリング時間：125ms
測定分解能（膜厚）：0.012 Å（密度1.0g/cm³設定時）
膜厚表示範囲：0.000 ～ 999.9 kÅ
レート表示範囲：0.00 ～ 999.9 Å/s
密度設定範囲：0.100 ～ 99.99 g/cm³
Z-Ratio（音響インピーダンス比）設定範囲：0.100 ～ 9.999
データ設定・記憶：成膜プログラム・材料パラメーターの保存に対応
外部インターフェース：RS-232C（通信）、I/Oコントロールポート（リレー接点出力・外部入力）
電源電圧：AC100 ～ 240V（50/60Hz）
消費電力：約30 VA
外形寸法：約 W213 × H88 × D330 mm（突起部含まず）
質量：約2.5 kg