中古機 イオンコーター 日立　Hitachi製、型式E-1030のご紹介

【AIによる装置概要】
走査電子顕微鏡（SEM）での観察において、非導電性試料のチャージアップ現象を防止するための前処理として使用される卓上型のイオンスパッタリング装置です。主に金（Au）、白金（Pt）、白金パラジウム（Pt-Pd）などの金属ターゲットを用いて、試料表面に数ナノメートルレベルの微細で均一な導電性被膜を形成します。

本機はDCマグネトロン放電方式を採用しています。電極付近に強力な磁場を形成して電子を捕捉することで、試料への電子衝突による熱ダメージを大幅に低減する構造となっており、熱に弱い生物試料や高分子材料のコーティングにも適しています。

フロントパネルにはピラニ真空計が配置され、チャンバー内の真空状態を常時モニタリング可能です。また、放電電流（最大30 mA）やスパッタリング時間をダイヤルおよびデジタルタイマーで緻密に設定・管理できるため、直感的かつ再現性の高い操作を実現しています。排気系には排気速度50 L/minクラスの油回転真空ポンプを組み合わせるのが標準的であり、効率的な真空引きと安定した成膜をサポートする実用的な設計となっています。

【AIによる参考仕様】
スパッタリング方式：DCマグネトロンスパッタリング
ターゲットサイズ：φ50 mm
対応ターゲット例：Au、Pt、Pt-Pd、Pdなど
チャンバー（ベルジャー）材質：硬質ガラス
放電電流設定範囲：0 ～ 30 mA
真空計：ピラニ真空計内蔵
タイマー機能：デジタル式
推奨真空ポンプ排気速度：約50 L/min（油回転真空ポンプ）
電源仕様：AC100V