中古機 イオンコーター 日立　Hitachi製、型式E-1030のご紹介

【装置概要】
走査電子顕微鏡（SEM）などで非導電性試料を観察する際、電子線の照射に伴うチャージアップ（帯電現象）を防止するための前処理として、試料表面に導電性の金属薄膜をコーティングする装置です。

本機は直流マグネトロンスパッタリング方式を採用しています。この方式は、磁界を利用してターゲット近傍にプラズマを高密度に閉じ込めるため、試料への電子やイオンの衝突による熱ダメージを大幅に低減できるのが特徴です。これにより、熱の影響を受けやすい高分子材料や生体試料、熱変形しやすい樹脂などの試料に対しても、ダメージを抑えつつ安定したコーティングを行うことができます。

成膜用のターゲット材には、金（Au）、白金（Pt）、白金パラジウム（Pt-Pd）などが主に用いられます。硬質ガラス製のベルジャー（真空チャンバー）内を油回転真空ポンプによって真空引きし、所定の圧力に達した後に放電電流を印加してスパッタリングを実行します。タイマーによる自動成膜制御機能を備えており、任意の放電電流値と処理時間を設定するだけで、微細かつ均一な粒子径の金属薄膜を再現性よく形成することが可能です。SEMの中〜高倍率観察において、クリアな画像を得るための前処理工程を効率的にサポートします。

【仕様(参考)】
放電方式：直流マグネトロンスパッタリング方式
ターゲットサイズ：外径 50 mmφ
適合ターゲット材質：Au、Pt、Pt-Pd など
ベルジャー（チャンバー）：硬質ガラス製（外径 約120 mmφ × 高さ 約120 mm）
試料台サイズ：最大 50 mmφ
真空排気系：油回転真空ポンプ（排気速度 約 50 L/min）
到達圧力：10 Pa 以下
放電電流設定範囲：5 〜 30 mA （可変）
処理時間設定（タイマー）：0 〜 9.9 分
必要電源：単相 AC100V