中古機 イオンコーター 日立ハイテク Hitachi High-Tech製、型式E-1010のご紹介

【AIによる装置概要】
走査電子顕微鏡（SEM）およびエネルギー分散型X線分析（EDX）の試料前処理に用いられる真空コーティング装置です。絶縁性試料の表面にナノメートルオーダーの導電性薄膜を均一に形成し、電子線照射に伴うチャージアップ（帯電現象）や熱ダメージを防止することで、鮮明な高倍率観察を可能にします。チャンバー内を油回転真空ポンプで排気後、直流グロー放電を利用してターゲット材（金、白金、白金パラジウムなど）をイオン衝撃により弾き飛ばし、試料表面へスパッタリングする仕組みを採用しています。放電電流とタイマーを組み合わせることで、観察目的に合わせた膜厚のコントロールが可能です。

さらに、本機にはカーボンコーター機能が付属しており、金属スパッタリングに加えてカーボン蒸着による処理にも対応しています。カーボン膜は軽元素でありX線の吸収や干渉が極めて少ないため、EDXを用いた微小領域の元素分析や反射電子像観察を行う際のコーティングとして最適です。金属スパッタとカーボン蒸着の両機能を備えることで、表面の微細形態観察から正確な成分分析まで、多様化する電子顕微鏡の試料調製ニーズを総合的にカバーできる実践的な構成となっています。

【AIによる参考仕様】
コーティング方式：直流グロー放電スパッタリング方式（カーボン部：抵抗加熱蒸着方式）
チャンバー（ベルジャー）：硬質ガラス製 外径約120mm
ターゲット寸法：直径50mm（スパッタリング用）
スパッタ放電電流：0〜50mA（連続可変式・アナログまたはデジタル表示）
放電電圧：DC 約0.5〜1.5kV
到達真空度：10 Pa台（ロータリーポンプによる真空引き時）
真空計測定範囲：ピラニ真空計搭載（大気圧〜約1 Pa）
コーティングタイマー：0〜999秒（デジタル設定式）
試料台サイズ：直径50mm〜60mm程度
排気ポンプ：油回転真空ポンプ（別置式・排気速度 約20〜50 L/minクラス）
所要電源：単相 AC100V 50/60Hz
付属機能：カーボンコーターユニット（カーボンファイバーまたはカーボンロッドを蒸着源として使用）
※上記は同系統装置の標準的な参考値であり、組み合わせる真空ポンプの能力や年式・オプション構成により実機の仕様が一部異なる場合があります。