中古 イオンポンプ
メーカー名
キヤノンアネルバ
型式912-7135S TOKU
年式表記：
仕様:30L/sイオンポンプ。標準型912-7135はφ114 ICF仕様
未使用品
仕様:30L/sイオンポンプ。標準型912-7135はφ114 ICF仕様
未使用品
本体価格(税別、送料別)
150,000円
【AIによる装置概要】
スパッタイオンポンプは、磁場中で放電させた電子でガスを電離し、チタン陰極へのイオン衝撃と活性チタン膜のゲッタ作用で気体を排気する、可動部も油も使わない超高真空ポンプです。本機はその30 L/secクラスで、標準型912-7135は窒素排気速度30 L/sec、動作圧力範囲10⁻¹〜10⁻⁹ Pa、内容積2.2 L、最高ベーキング温度300 ℃、吸気口φ114 ICFフランジ付き、質量12.5 kgです。表面分析装置や電子顕微鏡、小型のUHVチャンバーの主排気や保持排気に用いられ、専用の制御装置（PIC-050A-IP、出力+DC5.2 kV/20 mA）と高圧出力ケーブルを組み合わせて運転します。型式末尾のS（TOKU）は標準品と異なる特別仕様を示すと考えられ、フランジ規格や磁石の有無など標準型912-7135との相違点は現物確認が必要です。中古品につき、素子（陰極チタン）の消耗、放電の立ち上がり、フランジ面の状態、対応コントローラとケーブルの有無を確認したうえでの使用が前提になります。
【AIによる参考仕様】
・排気速度（N₂、標準型912-7135）：30 L/sec
・動作圧力範囲（標準型）：10⁻¹〜10⁻⁹ Pa
・内容積（標準型）：2.2 L
・最高ベーキング温度（標準型）：300 ℃
・吸気口フランジ（標準型）：φ114 ICF
・質量（標準型）：12.5 kg
・対応制御装置：PIC-050A-IP（+DC5.2 kV/20 mA）
※型式末尾のS（TOKU=特注）は標準品との相違を示すと考えられる。フランジ・磁石・素子仕様は現物で要確認
※運転には専用制御装置と高圧出力ケーブルが必要
スパッタイオンポンプは、磁場中で放電させた電子でガスを電離し、チタン陰極へのイオン衝撃と活性チタン膜のゲッタ作用で気体を排気する、可動部も油も使わない超高真空ポンプです。本機はその30 L/secクラスで、標準型912-7135は窒素排気速度30 L/sec、動作圧力範囲10⁻¹〜10⁻⁹ Pa、内容積2.2 L、最高ベーキング温度300 ℃、吸気口φ114 ICFフランジ付き、質量12.5 kgです。表面分析装置や電子顕微鏡、小型のUHVチャンバーの主排気や保持排気に用いられ、専用の制御装置（PIC-050A-IP、出力+DC5.2 kV/20 mA）と高圧出力ケーブルを組み合わせて運転します。型式末尾のS（TOKU）は標準品と異なる特別仕様を示すと考えられ、フランジ規格や磁石の有無など標準型912-7135との相違点は現物確認が必要です。中古品につき、素子（陰極チタン）の消耗、放電の立ち上がり、フランジ面の状態、対応コントローラとケーブルの有無を確認したうえでの使用が前提になります。
【AIによる参考仕様】
・排気速度（N₂、標準型912-7135）：30 L/sec
・動作圧力範囲（標準型）：10⁻¹〜10⁻⁹ Pa
・内容積（標準型）：2.2 L
・最高ベーキング温度（標準型）：300 ℃
・吸気口フランジ（標準型）：φ114 ICF
・質量（標準型）：12.5 kg
・対応制御装置：PIC-050A-IP（+DC5.2 kV/20 mA）
※型式末尾のS（TOKU=特注）は標準品との相違を示すと考えられる。フランジ・磁石・素子仕様は現物で要確認
※運転には専用制御装置と高圧出力ケーブルが必要