中古レーザー顕微鏡の在庫・価格

レーザー顕微鏡は、照明光源にレーザーを用い、共焦点(コンフォーカル)光学系で試料表面を走査して、高コントラストの画像と三次元形状データを非接触で取得する光学顕微鏡である。工業分野では表面形状・粗さの計測機として扱われることが多く、蛍光観察を主目的とする生物用の共焦点レーザー走査型顕微鏡とは、原理は同じでも装置構成や評価項目が異なる。
仕組みの中心は検出器の前に置かれたピンホールである。焦点面からの反射光はピンホールを通過するが、焦点から外れた位置の反射光は遮られるため、焦点深度の極めて浅い光学スライス像が得られる。点で信号を取るため、ガルバノミラーやMEMSミラーなどのスキャナーでビームをXY方向に走査して面の像を作る。さらに対物レンズをZ方向に段階的に動かして各高さで画像を取り込み、画素ごとに反射光強度と高さの関係(I-Zカーブ)を求め、そのピーク位置を表面の高さとする。全画素の高さをつなげば三次元形状が、最大輝度をつなげば全焦点画像が得られる。ピンホールの代わりに多孔の回転ディスクやスリットを使い、カメラで受光する方式もある。
平面分解能は主に光の波長と対物レンズの開口数(NA)で決まり、波長が短くNAが大きいほど向上する。工業用機では405nm前後の青紫色半導体レーザーとNA0.9級の対物レンズを組み合わせ、平面分解能0.12〜0.2μm程度とする構成が一般的で、高さ方向の表示分解能は0.5〜10nm程度の機種が多い。平均波長約550nmの可視光を使う通常の光学顕微鏡より平面分解能が高く、急傾斜面でもデータ欠落が比較的少ない。
一方、高さ分解能は対物レンズの倍率(NA)に依存し、低倍率では悪化する。視野は5倍対物で3mm角程度、100倍対物では0.15mm角程度にとどまるため、広い面積を高精度に測るには画像連結が必要で時間がかかる。広視野でのうねり計測や研磨面のサブnm評価では白色干渉計が有利とされ、目的に応じた使い分けが要る。透明体や反射の極端に弱い面、垂直に近い壁面では信号不足でデータが欠けることがあり、測定条件の設定と結果の解釈に注意が必要である。
代表的な用途は、触針式粗さ計の代替・補完としての表面粗さ測定である。触針の先端半径が2μmや10μmであるのに対し、レーザースポット半径は0.2μm程度と小さく、狭い凹部や微細な凹凸まで届き、摩耗もない。非接触のため、樹脂や粘着材など柔らかい試料も傷めずに測れ、試料を切断せず大気中でそのまま置いて測定できる。機械加工面や摺動面の粗さ・摩耗痕評価、半導体・電子部品の微細パターンの段差や線幅測定、薄膜やコーティングの評価、工具刃先の形状確認、破面や腐食部の観察などに使われ、ISO 25178の面粗さパラメータによる解析にも用いられる。
中古機を導入する際は、レーザー光源の残り寿命、標準試料による校正状態、制御PCと解析ソフトの対応OSを確認しておくとよい。古い世代の機種では、走査速度や解析機能が現行機より限られる場合がある。