中古微差圧計の在庫・価格

微差圧計は、二つの空間や配管内の二点の間に生じるごく小さな圧力差を測る計器です。微差圧という言葉に厳密な定義はなく、数百Pa以下を指す場合もあれば1kPa以下とする例もあります。実際の製品は0〜10Pa程度の超低レンジから±5kPa程度までそろっており、正負両方向を測れる連成レンジも一般的です。大気圧(約101kPa)と比べて1万分の1以下の差を扱うため、受圧部の感度と、外部の影響をどれだけ抑えられるかが性能を左右します。
方式は大きく機械式と電子式に分かれます。機械式は、シリコーンゴムなどの柔らかいダイアフラムの両側に高圧側と低圧側の圧力をかけ、そのたわみをリンク機構で拡大して指針を振らせます。電源が要らず、目視での常時監視に向いています。精度は±1.5〜2.5%FS程度が典型です。電子式の代表はシリコンダイアフラム式です。マイクロマシニングでミクロンオーダーまで薄くしたシリコン膜を電極付きのガラスで挟み、膜のたわみを静電容量の変化として検出します。ひずみゲージ式や、二つの振動子の固有振動数の差から圧力を求めて温度の影響を打ち消すレゾナント式もあります。電子式は表示に加えて4〜20mAや1〜5Vのアナログ出力、警報用の接点出力を持つものが多く、中央監視や空調制御に組み込みやすいのが特徴です。
主な用途は空調・クリーン環境の管理です。クリーンルームやクリーンブースでは室内を周囲より陽圧に保って汚れた空気の侵入を防ぎ、感染症病室や危険物を扱う区画では逆に陰圧にして内部の空気が外へ漏れるのを防ぎます。陰圧病室では2.5Pa以上の差圧を保つよう推奨されており、こうした数Paの監視に微差圧計が使われます。エアフィルタの前後差圧から目詰まりを判断する用途も代表的で、この場合は300Pa〜1kPa程度のレンジがよく選ばれます。ダクトにピトー管やオリフィスを付ければ、動圧や絞り前後の差圧から風速・風量も求められます。そのほか、アスベスト除去作業場の負圧点検、燃焼機器の圧力点検、グローブボックスや局所排気装置の内圧監視など、大気圧付近でのわずかな圧力バランスを管理する場面で広く使われます。
実務での注意点もいくつかあります。まず取付姿勢です。低レンジでは受圧部の自重が誤差になるため、指定された姿勢で取り付け、設置後に必ずゼロ調整を行います。導圧管は内径6mm程度の樹脂チューブが一般的ですが、折れ曲がり、結露水のたまり、高圧側と低圧側の接続間違いが誤った指示の原因になりやすい箇所です。扉の開閉や送風機の脈動で値が揺れる場所では、ダンパや移動平均機能で指示を落ち着かせます。測定対象は一般に空気や腐食性のないガスに限られ、液体や腐食性ガスには使えません。過大圧への強さも製品によって違います。50Paレンジでも1000倍以上に耐えるセンサがある一方、機械式では安全機構の有無が分かれるため、仕様で確認が必要です。精度表記はJIS B7505-1に準じることが多く、スパンの両端やゼロ付近では記載値の1.5倍までの誤差が許容される点も、選定時に知っておくべきポイントです。