中古 アネストイワタ スクロールポンプ ISP-500

■ スクロールポンプの仕組み

スクロールポンプは、2枚の渦巻き状（スクロール）部品を組み合わせて気体を移送・圧縮する容積変化型のポンプです。構造の中心となるのは、固定された「固定スクロール」と、一定の半径で公転運動（偏心回転）を行う「可動スクロール」です。可動スクロールは自転せず、公転のみを行う点が技術的な特徴です。

2枚のスクロールを180度位相をずらして噛み合わせることで、渦巻きの間にいくつかの密閉された三日月型の空間（ポケット）が形成されます。可動スクロールが公転運動をすると、このポケットが外周部から中心部に向かって徐々に容積を縮小しながら移動していきます。外周の吸入口から取り込まれた気体は、中心に向かって送られる過程で連続的に圧縮され、最終的に中心部に設けられた排気口から外部へ排出されます。このスムーズな容積変化によって、脈動の少ない安定した排気が可能となります。

■ スクロールポンプの主な特徴

スクロールポンプの最大の特徴は、作動油を一切使用しない「オイルフリー（ドライ）」構造であることです。構造内にオイルが存在しないため、排気中にオイル蒸気が混入する心配がなく、極めてクリーンな真空環境を作り出すことができます。オイルの交換や廃油処理の手間がかからないため、メンテナンス性や環境面においても大きなメリットがあります。

また、静音性と低振動性にも優れています。吸気・圧縮・排気のプロセスが連続的かつ滑らかに行われ、バルブの開閉による打撃音などがほとんど発生しないため、動作音が非常に静かです。エネルギー効率が高く、消費電力が比較的少ない点も利点と言えます。

一方で、渦巻きの接触部や密閉性を保つための「チップシール」と呼ばれる樹脂部品が経年変化で摩耗するため、定期的なパーツ交換が必要です。また、大量の水蒸気や微粒子（粉じん）を含む気体を吸引すると故障の原因になりやすいため、事前のフィルタ設置などの配慮が求められます。

■ スクロールポンプの多角的な用途

オイルを使わないクリーンな排気特性と高い静音性から、スクロールポンプは先進技術の研究分野から産業用設備まで幅広く活用されています。

主な用途の一つが、理化学機器や分析装置の粗引き（補助）ポンプです。電子顕微鏡、質量分析計、表面分析装置、粒子加速器などの高度な研究設備では、オイルによるサンプルや装置内の汚染を極度にいみきらうため、スクロールポンプが第一選択となります。

半導体や液晶ディスプレイ、FPD（フラットパネルディスプレイ）の製造現場でも欠かせません。スパッタリング装置やエッチング装置、真空搬送ロボットのクリーンな真空源として広く使用されています。医療・医薬品分野においては、冷凍乾燥機、滅菌器、歯科用の吸引システムなど、衛生管理が厳しく求められる環境で活躍しています。

さらに、真空ポンプとしての用途にとどまらず、構造を逆応用した「スクロールコンプレッサー」として、家庭用・業務用エアコンや冷凍冷蔵庫の冷媒圧縮機、工場のエアツール用コンプレッサーとしても大量に採用されています。