中古 アルバック（ULVAC） ロータリーポンプ VS2401

油回転真空ポンプは、真空ポンプ油でロータやシリンダ、翼板(ベーン)の間のすき間を封じ、気体を閉じ込めて圧縮し、大気側へ押し出す容積移送式の真空ポンプ。一般にロータリーポンプと呼ばれる。最も多い回転翼型では、シリンダの中で偏心して回るロータに2枚のベーンが組み込まれ、シリンダ内を三つの空間に分ける。ロータが回るとそれぞれの空間の容積が周期的に変わり、吸気口から入った気体は圧縮されて排気弁から大気へ出ていく。ほかに、偏心ロータの外側を翼板が押さえるカム型や、ピストンが首振り運動をする揺動ピストン型がある。
油はすき間の封止だけでなく、摺動部の潤滑と冷却、排気弁まわりの無効空間を減らす役目も担う。このため小型でも圧縮比が大きく取れ、大気圧からそのまま排気を始めて、10Pa以下の圧力まで容易に下げられる。ロータとシリンダの組を直列に二つつないだ2段式は、吸入・圧縮・排気を2回くり返すため1段式より低い圧力まで引け、到達圧力はおおむね1Pa前後からその1桁下までの機種が多い。一方、同じ大きさなら1段式の方が排気速度を大きく取りやすい。排気速度は研究室向けの数十L/minの小型機から、数百m³/hの大型機まである。モータ直結の小型機と、ベルト駆動の大型機に分かれる。
水蒸気や溶剤の蒸気を引くと、圧縮の途中で液化して油に混ざり、到達圧力の悪化や油の劣化を招く。これを防ぐのがガスバラストで、圧縮工程の直前に少量の空気や乾燥窒素を入れ、凝縮性の気体を液化させずに排気する。ガスバラストを開くと到達圧力は高くなるので、乾いた気体を引くときは閉じて使う。多くの機種は、停止したときに油や大気が真空側へ逆流しないよう、吸気側に逆流防止の弁を備える。
用途は、真空チャンバーの粗引き、ターボ分子ポンプや拡散ポンプの補助ポンプ、真空炉、ワークの真空チャック、含浸、リークテスト、凍結乾燥、コーティング、医療・食品の装置など幅広い。安価でコンパクトに低い圧力が得られる反面、油の管理が欠かせない。油が汚れたり水分を含んだりすると性能が落ちるため、定期的な油交換が必要になる。排気口からはオイルミストが出るのでミストトラップを付けることが多く、油の蒸気が真空側へ戻る逆拡散を嫌う装置にはフォアライントラップを置くか、ドライポンプを選ぶ。腐食性ガスや粉体を含む排気では、耐食仕様の機種やフィルタ、専用の油を使う。電源は単相と三相があり、50Hzと60Hzで排気速度が変わる点も、機種を選ぶときの要点になる。