中古 アルバック Ulvac 蒸着膜厚コントローラー CRTM
本体価格(税別、送料別)100,000円
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- メーカー
- アルバック Ulvac
- 型式
- CRTM
- 機種
- 蒸着膜厚コントローラー
- 管理番号
- Z200804025
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
CRTM の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | 水晶発振式 蒸着膜厚コントローラ(膜厚・成膜速度の測定/制御) |
|---|---|
| 表示 | RATE(Å/SEC)、THICKNESS(kÅ)、STATUS |
| 設定項目 | DENSITY(g/cm³)、Z-RATIO、TOOLING(%)、THK1/THK2、TIME LIMIT、TIME/DATA |
| 表示灯 | CRYSTAL、RESIDUAL(水晶残量) |
※掲載の型式が「CRTM」だけで世代(CRTM-6000G/9000G等)が特定できないため、分解能・センサ数・入出力などの数値仕様は書けない。値は現品前面パネルの表示項目から。
出典: 現品の銘板
アルバック Ulvac CRTM の装置概要 AIによる記述です
真空蒸着やスパッタで基板に付く膜の厚さと成膜速度を、水晶振動子を使って測り制御する膜厚コントローラ。チャンバー内に置いた水晶振動子に膜が付くと振動数が下がるので、その変化から付着した質量、さらに膜厚を計算する。設定した膜厚でシャッターを閉じたり、成膜速度を保つよう蒸発源の出力を調整したりする用途に使われる。
前面パネルには成膜速度のRATE(Å/SEC)、膜厚のTHICKNESS(kÅ)、STATUSの表示がある。設定項目は、材料の密度を入れるDENSITY(g/cm³)、材料ごとの補正値Z-RATIO、センサ位置と基板位置での付き方の違いを補うTOOLING(%)、膜厚の設定値THK1/THK2、TIME LIMIT、TIME/DATA。水晶の状態を示すCRYSTALと、水晶の残量を示すRESIDUALの表示灯も備える。
掲載の型式だけでは世代が特定できず、分解能・センサ数・入出力などの数値仕様は確かめられていない。値は現品の前面パネルの表示項目から読んだもの。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。