中古 アドバンスドエナジー AE DC安定化電源 MDX-10K STD-Z DELTA SLAVE
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- メーカー
- アドバンスドエナジー AE
- 型式
- MDX-10K STD-Z DELTA SLAVE
- 機種
- DC安定化電源
- 管理番号
- Z22033006
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
MDX-10K STD-Z DELTA SLAVE の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | DCマグネトロンスパッタ用電源(Advanced Energy MDX 10K) |
|---|---|
| 出力電力 | 0〜10 kW |
| 出力電圧 | 0〜1000 V |
| 出力電流 | 0〜20 A |
| 出力 TAP#1 | 0〜600V / 0〜20A |
| 出力 TAP#2 | 0〜800V / 0〜16A |
| 出力 TAP#3 | 0〜1000V / 0〜12.5A |
| 制御モード | 電力 / 電流 / 電圧 |
| 出力リップル | 2 % RMS |
| リップル周波数 | 100 kHz |
| 入力電源 | AC208V±10% 三相 50/60Hz(制御用 AC115V 単相) |
| 入力電流(208V側) | 40 A |
| インターフェース | ユーザーポート(アナログ/デジタル)・RS-232C |
※銘板は Advanced Energy M/N 3152012-102A。仕様は社内取説(AE Japan『MDX-10K シリーズ 総合マニュアル』rev D、STD-Zタイプの表)による
※出力電圧・出力電流は3つの出力タップの最大値で、同時には出せない(1000VはTAP#3で最大12.5A、20AはTAP#1で最大600V)。現品のタップ設定は要確認
※「DELTA SLAVE」は連結運転の従属機設定で、単体運転可否は要確認。
出典: 現品の銘板、メーカー資料
アドバンスドエナジー AE MDX-10K STD-Z DELTA SLAVE の装置概要 AIによる記述です
マグネトロンスパッタのターゲットに負の直流電圧をかけ、放電を保って成膜するためのDC電源。スパッタ中の放電はガスの圧力やターゲットの状態でインピーダンスが変わるため、電力・電流・電圧のいずれかを一定に保つ制御で出力を安定させる。金属膜や導電膜を作るスパッタ成膜装置に組み込んで使われる。
出力電力は0〜10kWで、出力は3つのタップから選ぶ。TAP#1は0〜600V/0〜20A、TAP#2は0〜800V/0〜16A、TAP#3は0〜1000V/0〜12.5A。制御モードは電力・電流・電圧、出力リップルは2%RMS、リップル周波数は100kHz。入力電源はAC208V±10% 三相 50/60Hzで、208V側の入力電流は40A、制御用にAC115Vの単相を使う。インターフェースはアナログ/デジタルのユーザーポートとRS-232C。
出力の最大値はタップごとで、1000Vと20Aは同時には出せない。DELTA SLAVEは連結運転の従属機の設定で、単体で運転できるかは確かめられていない。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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