中古 ファイファー Pfeiffer ターボ分子ポンプコントローラー TCM1601

磁気軸受のターボ分子ポンプで、ローターを磁力で浮かせて非接触で支える軸受部を制御する磁気軸受コントローラ。位置センサでローターの位置を常に検出し、電磁石の力を調整して回転中のローターを決まった位置に保つ。機械的な接触が無いため軸受の潤滑油が要らず、振動や油による汚染を嫌う半導体製造装置や分析装置で使われるポンプの運転を支える。
部品番号はPM C01 677で、対応するポンプはTMH/TMU 200MP・400MP・1000MP・1600MP。前面のLCディスプレイで運転状態を表示する。
磁気軸受コントローラ単体で、モータを回すための駆動用ユニット(TCPなど)は別に必要になる。入力電源・消費電力・寸法・質量は取扱説明書の本文が読めず確かめられていない。組み合わせるポンプとケーブルの型式は現品で確かめる必要がある。