中古 エドワーズ Edwards ドライポンプ GV250／EH1200
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- メーカー
- エドワーズ Edwards
- 型式
- GV250／EH1200
- 機種
- ドライポンプ
- 年式
- 2011年
- 管理番号
- Z25070701
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
GV250／EH1200 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 排気速度 | 1,195/1,435 m³/h |
|---|---|
| 吸気口フランジ | ISO160 |
| 構成 | ドライスクリューポンプ GV250 + メカニカルブースタ EH1200 |
| 排気口フランジ | ISO63 |
| GV250 最大排気速度 | 260(50Hz)、177cfm(60Hz) m³/h |
| GV250 押しのけ量 | 315(50Hz)、223cfm(60Hz) m³/h |
| GV250 到達圧力 | 40(4×10⁻¹mbar、50Hz) Pa |
| GV250 モーター定格 | 11.0kW(50Hz)、20HP(60Hz)。電源380/400/415V 50Hz または230/460V 60Hz |
| GV250 接続フランジ | 吸気ISO100、排気ISO63 |
| GV250 質量 | 626(オイルなし、50Hzモータ付) kg |
| GV250 騒音 | 79dB(A)(50Hz)、82dB(A)(60Hz) |
| EH1200 設計排気速度 | 1,195(50Hz)、1,435(60Hz) m³/h |
| EH1200 接続フランジ | 吸気ISO160、排気ISO100 |
| EH1200 モータ定格 | 3.0 kW |
| EH1200 冷却水量 | 2(水温20℃) L/min |
※先頭の『排気速度』『吸気口フランジ』『排気口フランジ』はGV250+EH1200を組み合わせた状態(ユニット全体)の値。個々のポンプ単体の値は機種名を付けた行に分けてある。
※ユニットの吸気口はEH1200側のISO160、排気口はGV250側のISO63。
※組合せ時の到達圧力はカタログに記載がないため書いていない。GV250単体では40Pa(50Hz)、ブースタを重ねるとこれより低くなる。
※GV250とEH1200を接続するブースタマウントキットの有無は現品で確認が必要。
出典: メーカー資料、idealvac.com
エドワーズ Edwards GV250／EH1200 の装置概要 AIによる記述です
油を使わずに大気圧から排気できるドライスクリューポンプに、メカニカルブースタを重ねた組合せの排気ユニット。下段のドライスクリューポンプで大気圧から粗引きし、中真空域では上段のメカニカルブースタが排気速度を大きく引き上げる。ポンプ室に油を使わないので、油の逆流を嫌う半導体や成膜、化学プロセスの排気や、大きな真空容器の粗引きに使われる。
ユニットの排気速度は1,195/1,435m³/h(50/60Hz)で、吸気口はブースタ側のISO160、排気口はドライポンプ側のISO63。ドライスクリューポンプGV250は単体で最大排気速度260m³/h(50Hz)、到達圧力40Pa(50Hz)、モーター定格11.0kW(50Hz)、質量626kg(オイルなし、50Hzモータ付)。メカニカルブースタEH1200はモータ定格3.0kWで、冷却水を2L/min(水温20℃)流す。
組合せ時の到達圧力はカタログに記載が無く、ブースタを重ねるとGV250単体の値より低くなる。2台をつなぐブースタマウントキットの有無は現品で確かめる必要がある。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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