中古 オリンパス Olympus 金属顕微鏡 MX40／AL-1BL-S

本装置は、半導体ウェハや電子部品、金属材料の表面検査などに用いられる工業用正立型顕微鏡部と、自動ウェハ搬送を行うオートローダー部を統合した検査システムです。

顕微鏡部には無限遠補正のUIS光学系が採用されており、高解像度かつコントラストに優れた鮮明な画像を取得できます。最大150mm（6インチ）サイズの試料に対応する150mm×150mmストロークのメカニカルステージを備え、明視野、暗視野、微分干渉（DIC）、簡易偏光といった多様な観察手法を利用可能です。手元に配置された操作系や人間工学に基づいた鏡筒設計により、長時間の目視検査における作業者の負担を軽減する構造が取り入れられています。

オートローダー部は、カセットから顕微鏡ステージへの正確な自動ウェハ搬送を担います。主に100mm（4インチ）から150mm（6インチ）のウェハサイズに対応し、真空吸着方式による安全な搬送を実現しています。手動によるウェハのハンドリングを無くすことで発塵やコンタミネーションのリスクを低減し、顕微鏡によるミクロ検査および搬送過程でのマクロ検査（目視）を効率化します。これにより、半導体製造プロセス等における品質管理のスループット向上に寄与する構成となっています。