中古 サムコ Samco ドライエッチング（RIE） RIE-10NR
本体価格(税別、送料別)2,200,000円
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- メーカー
- サムコ Samco
- 型式
- RIE-10NR
- 機種
- ドライエッチング（RIE）
- 管理番号
- Z26031701
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
RIE-10NR の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 方式 | 平行平板型RIE(無遮蔽型、電極間距離55mm半固定) |
|---|---|
| 対応基板 | 最大φ220mm(8インチ×1、4インチ×3、3インチ×5) |
| 反応室 | アルミ製、外寸φ400×170(H)、内径φ340、φ40ビューポート付 mm |
| 電極 | 上下ともアルミ製φ240(下部電極に石英カバーφ250) mm |
| 高周波電源 | 13.56MHz、最大300W(水晶発振ソリッドステート、オートマッチング) |
| 高真空排気 | 複合分子ポンプ 200L/s(N2)・空冷 |
| 補助ポンプ | ロータリーポンプ 208/250L/min(50/60Hz)、フォンブリンオイル仕様 |
| 圧力制御 | 4インチ自動圧力制御バルブ(ゲート型・モーター駆動) |
| 真空計 | ダイアフラム型 266〜0.0133Pa / 全圧計 大気圧〜1×10⁻⁴Pa |
| ガス系 | MFC 2系列(CF4・O2、各最大200sccm・N2校正)、1/4インチVCR溶接配管 SUS316 |
| 基板冷却 | 下部電極ジャケット水冷 |
| 制御 | シーケンサ自動運転+ELタッチパネル、レシピ10個(各4ステップ) |
※仕様は社内保管の装置仕様書(NEW NR! Ver.3.10)による。MFCのガス種・流量レンジや電極間距離は納入仕様で変わる
※反応室がアルミ製で腐食性ガス(Cl2等)には対応しない
出典: メーカー資料、samcointl.com
サムコ Samco RIE-10NR の装置概要 AIによる記述です
平行平板型の電極の間に高周波でプラズマを立て、反応性ガスのイオンとラジカルで基板の表面を削る反応性イオンエッチング(RIE)装置。電極間距離は55mmの半固定で、下部電極はジャケットの水冷で基板を冷やす。ガスはCF4とO2の2系列で、薄膜のエッチングやレジストのアッシングなどに使われる。
反応室はアルミ製で内径φ340、電極は上下ともφ240、対応基板は最大φ220mm(8インチ×1、4インチ×3、3インチ×5)。高周波電源は13.56MHz・最大300Wのソリッドステートでオートマッチング付き。排気は200L/s(N2)の空冷の複合分子ポンプとフォンブリンオイル仕様のロータリーポンプで、4インチの自動圧力制御バルブで圧力を保つ。MFCは各最大200sccm、運転はシーケンサとELタッチパネルの自動運転で、レシピは10個(各4ステップ)を登録できる。
反応室がアルミ製のためCl2などの腐食性ガスには対応しない。ガス種・流量レンジや電極間距離は納入仕様で変わる。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
ドライエッチング（RIE）の買取も行っています
不要になったドライエッチング（RIE）がありましたら、無料で査定します。廃棄・処分する前に一度ご相談ください。