中古 アルバック Ulvac ドライポンプ DA-40S

ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して真空引きを行う、ダイアフラム型のドライ真空ポンプです。ポンプの接ガス部に油や水などの液体を一切使用していないため、オイルバックやミストによる汚染がなく、クリーンな排気環境を維持できます。分析機器、理化学機器、半導体検査装置など、オイルフリーの真空が求められるプロセスでの使用に適しています。

排気能力は50Hz時に40 L/min、60Hz時に46 L/minで、到達圧力は19.9×10^3 Paとなります。電源は一般的な単相100Vで稼働し、65Wのモーターを採用しています。質量は約7.1kg、外形寸法は幅156mm×長さ280mm×高さ199mmとコンパクトな設計であり、各種装置への組み込みや作業台などの限られたスペースへの設置が容易です。

電動機には自動復帰型のサーマルプロテクターが内蔵されており、過負荷運転等による異常発熱時には自動的に停止し、モーターの焼損を防止する安全設計が施されています。また、構造がシンプルであるため、ダイアフラムや吸排気弁といった消耗品の交換・保守をユーザー側で比較的容易に行うことが可能です。